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嘉兴真空镀膜DLC

来源: 发布时间:2023年09月24日

分析CrN过渡层与不同膜厚对DLC薄膜性能的影响,及涂层模具的成型特性。方法采用PECVD方法在718合金试样及模具表面沉积CrN/DLC复合膜,预设CrN过渡层厚度为0.2μm,DLC膜层厚度为0.5~1.2μm。采用无损设备对不同沉积时间(10、15、20、25、30、35min)的薄膜厚度进行表征,并使用扫描电子显微镜(SEM)观察薄膜表面及截面结构特征。采用拉曼光谱(Raman)分析不同厚度DLC膜的峰位信息以及sp3-C/sp2-C的比例关系,用纳米压痕仪表征膜层硬度,用硬度计分析膜/基结合力,用轮廓仪表征薄膜表面特征,并探讨膜厚对薄膜性能的影响机制。结果薄膜的厚度值在预设范围以内,该方法制备的薄膜结构致密,表面光滑,无分层、凹坑、液滴粘附等缺陷。随涂层厚度的增加,薄膜中sp3-C/sp2-C的比例呈先减小后增大的趋势,G峰也先向D峰靠近,而后远离。薄膜硬度同样随膜层厚度的增加呈先增加后减小的趋势,1.06μm厚的CrN/DLC膜的硬度比较高(3600HV)。在以非燃油为燃料的新能源汽车发动机中,DLC的活塞环可在无润滑油的干摩擦下起到好的润滑和耐磨减磨作用。嘉兴真空镀膜DLC

DLC涂层应用(1)钻头、铣刀DLC涂层可以应用于钻头和铣刀上,特别是掺杂金属的DLC膜,它不仅具有高的硬度,还具有低的摩擦系数、抗有色金属粘结。(2)光盘模具及其辅助模具光盘模具是生产CD、CDR、DVD的重要工具,为了减少它与母盘(镍盘)的摩擦,希望模具表面硬且摩擦系数小,目前,国外大多采用DLC膜层,部分提高了模具的寿命和盘片的质量。镀膜之后有硬度高,摩擦系数低,耐磨,耐腐蚀,抗粘结性好且环保等特点。(3)芯轴DLC涂层的耐磨减摩及耐腐蚀性,可显著提高齿轮、芯轴等运动部件的使用性能及寿命。(4)刀片上的应用现在DLC也在各种刀片如剪刀、刮胡刀等上的应用。DLC膜减小了刀片与皮肤的摩擦,改善了刀片的性能,延长了使用寿命。(5)关键零部件上的应用DLC膜在许多关键零部件也能发挥其优良的性能,如在制成式斯特林制冷机的活塞上的应用利用其低的摩擦系数,降低摩擦力,提高耐磨性,达到无油润滑及使用寿命要求。在缝纫机配件-旋梭上镀DLC膜替代原来的电镀硬铬处理,不但避免了污染环境的问题,而且,明显提高工件表面硬度及耐磨性,使用寿命提高了10倍以上,同时,也因表面膜层摩擦系数降低后,使机器运行过程中产生的噪音变小。江苏 刀具DLC检测纯DLC膜具有优异的耐蚀性,各类酸、碱甚至王水都很难侵蚀它。但掺杂有其他元素的DLC膜的耐蚀性有所下降。

1.类金刚石(diamond-likecarbon,DLC)是一类含有金刚石结构(sp3杂化键)和石墨结构(sp2杂化键)的亚稳态非晶物质,具有高硬度、耐腐蚀、低摩擦因数、耐磨损等优良特性,但也存在着由于制备工艺、沉积参数等不同导致的内应力大、热稳定性差、摩擦学行为敏感等问题,明显限制了其产业化应用。类金刚石薄膜的几种常见制备方法:等离子增强化学气相沉积法(PECVD)、脉冲激光沉积法(PLD)、磁过滤阴极真空电弧法(FCVA)、磁控溅射法(MS)。类金刚石(Diamond-likeCarbon,DLC)薄膜是碳以sp3和sp2杂化键结合形成的一种亚稳态非晶材料,具有高硬度、高耐磨性、良好的透明性和生物相容性等独特的性质。采用不同的工艺方法制备的DLC薄膜具有不同的微观结构和性质。特别地,作为光学材料,DLC薄膜具有较宽的禁带宽度和较低的折射率,且折射率可在一定范围内调控。

1.类金刚石(diamond-likecarbon,DLC)是一类含有金刚石结构(sp3杂化键)和石墨结构(sp2杂化键)的亚稳态非晶物质,具有高硬度、耐腐蚀、低摩擦因数、耐磨损等优良特性,但也存在着由于制备工艺、沉积参数等不同导致的内应力大、热稳定性差、摩擦学行为敏感等问题,明显限制了其产业化应用。2.类金刚石薄膜的几种常见制备方法如下:等离子增强化学气相沉积法(PECVD)、脉冲激光沉积法(PLD)、磁过滤阴极真空电弧法(FCVA)、磁控溅射法(MS)。DLC几种常见制备方法:等离子增强化学气相沉积法、脉冲激光沉积法、磁过滤阴极真空电弧法、磁控溅射法。

1.为解决轮胎模具粘胶、腐蚀、积碳、易磨损、难清洗等问题,通常在轮胎模具表面喷涂Teflon涂层。但是,Teflon涂层的硬度较低,耐磨性差,需要定期重复喷涂。类金刚石涂层(DLC)作为一种新型功能涂层材料,具有高硬度和高弹性模量、耐磨损、高结合强度等优点,具有应用在轮胎模具表面的潜力。轮胎模具DLC涂层代替Teflon涂层,解决Teflon涂层的硬度较低、耐磨性差这一难题,具有重要的现实意义。为探究DLC涂层在轮胎模具上应用的可行性,本课题主要进行了以下几个方面的研究:(1)加工并制备了基体试样,并在试样上沉积了含氢DLC、无氢DLC和Teflon涂层。采用DLC涂层可有效提高切削刀具使用寿命,使刀具获得优良的综合机械性能,从而大幅度提高机械加工效率。江苏 刀具DLC检测

DLC涂层在模具上的应用,注塑成形模具:模腔和型芯、顶杆及各类镶件等。嘉兴真空镀膜DLC

1.类金刚石(diamond-likecarbon,DLC)涂层具有优异的性能,应用潜力适合.但DLC涂层的较为缺点,即内应力高和热稳定性差,限制了DLC涂层的推广应用.本实验采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)的方法,调控涂层含氮量,调节偏压大小,以及进行硅氮共掺.利用拉曼光谱,红外光谱(FTIR),X射线光电子能谱(XPS)和薄膜应力测试仪,微纳米力学综合测量系统等分析测试手段对涂层组织和性能进行表征,探讨了DLC涂层沉积态及退火态的组织结构和性能的变化规律.实验获得如下结论:(1)对掺氮含氢类金刚石(a-CN:H)涂层而言.随着N_2流通量增加,涂层含氮量增加,sp~3含量先增加后减小,拐点氮含量为0.12at%.涂层中的N元素以C=N键为主,且C=N键在490°C以上温度退火时才发生部分断裂.存在临界退火温度430°C.低于该温度退火时,与纯含氢类金刚石(a-C:H)涂层相比,掺氮涂层具有较低的sp~3→sp~2的结构转变温度.但当退火温度大于430°C时,掺氮涂层的结构转变速率比a-C:H涂层低.即随着涂层含氮量增加,低氮掺杂涂层的高温热稳定性增加.当掺氮涂层经430°C退火后,可以获得具有高硬度,高导率,低残余应力和低摩擦系数等综合性能优异的DLC涂层嘉兴真空镀膜DLC