气泡内气体或蒸汽的温度不需要冷却至室温或清洗液的温度。它可以是高于室温或清洗液温度的一定温度。较佳地，该温度是明显低于内爆...

逐步缩短时间τ2来运行doe，直到可以观察到图案结构被损伤。由于时间τ2被缩短，气泡内的气体或蒸汽的温度不能被足够冷却，从...

在本发明的一个或多个实施方式中，排气口包含多个穿孔。本发明的另一实施方式提供一种半导体晶圆干燥方法。半导体晶圆干燥方法包含...

在步骤10010中，将超声波或兆声波装置置于晶圆的上表面附近。在步骤10020中，将清洗液，可以是化学液或掺了气体的水喷射...

可以利用多重的内框结构，例如回字型的内框结构来加强结构强度。所谓的回字型，就是内框内还有内框的结构。在一实施例当中，多重的...