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来源: 发布时间:2022年06月06日

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在半导体晶圆封装前期工作中,划片刀(dicingblade)是用来切割晶圆,是制造芯片的重要工具,它对于芯片的质量和寿命有直接的影响。划片刀在半导体封装工艺中的使用如下图所示:随着芯片的小型化、大容量化、以及高效化,芯片的结构越来越复杂,芯片之间的有效空间越来越小,因而其切割的空间也越来越窄。这对于精密切割晶圆的划片刀的技术要求越来越高。目前切割晶圆有两种方法:一种是激光切割,另一种是机械切割,即划片刀切割,而后者是当前切割晶圆的主力。其原因是:(1)激光切割不能使用大功率以免产生热影响区(HAZ)破坏芯片;(2)激光切割设备非常昂贵(一般在100万美元/台以上);(3)激光切割不能做到一次切透(因为HAZ问题),因而第二次切割还是用划片刀来只终完成;所以划片刀会在相当长的一段时间内,是半导体封装工艺中不可缺少的材料之一。四川特色半导体晶舟盒好选择。吉林服务半导体晶舟盒定制价格

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