洁净室是将一定空间范围内空气中的尘埃粒子、微生物等污染物物理过滤，并将室内温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计的房间。亦即是不论外在的空气条件如何变化，其室内均能维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能。 洁净室的工作人员应严格控制人数，无关人员、物品不得进入洁净室；工作人员不戴手表与珠宝首饰，不能用散发颗粒的化妆品；工作人员、维护管理人员进入洁净室应严格执行人身净化程序；洁净度工作区的人员不得相互随意走动，必要联系时应经净化程序、更衣后才能进入。 无尘室的适用范围很广，只要洁净要求比较高的都会用到；吉安10000级无尘室方案
有关推荐或参考值的应用无尘室内一定洁净度下气流速度的确定，随无尘室用途等具体情况而异，它不仅受室内发尘量及过滤器效率还受其他因素影响，就工业无尘室工程而言，影响洁净度及选择气流速度的因素主要是：(1)无尘室内污染源：建筑物组件、人员数量及操作活动、工艺设备、工艺材料及工艺加工本身等都是尘粒释放源，根据具体情况而异，变化很大；(2)无尘室内气流流型及分布：单向流要求均匀、平等的流线，但会受到工艺设备布置和位置变动及人员活动情况等的干扰形成局部涡流；而非单向流要求充混合，避免死角及温度分层；(3)自净时间（恢复时间）的控制要求：无尘室中事故释放或带入污染物。
中山10000级无尘室安装无尘室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。
乱流式洁净室是空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板进行回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级千级至-十万级。 优点：构造简单、系统建造成本低，洁净室扩充比较容易； 缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活，欲需达到设定要求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间进行自净。
简易无尘室通常都是建在无尘车间内，所以不需要考虑风淋室、传递窗以及空调送风系统，成本与无尘车间比较会有很大降低，当然这与简易无尘室所需材料、大小以及洁净级别有一定的关系。会将简易无尘室建在无尘室之内，但有的客户不想单独建无尘车间，在简易无尘室不考虑空调系统及风淋室、传递窗等净化设备的情况下，简易无尘室的成本约是无尘车间造价的40%~60%，这取决于客户对简易无尘室材料的选择，以及简易无尘室的大小。需要洁净的区域越大，简易无尘室与无尘车间的成本相比差别会越小。
无尘室（亦称洁净室）：空气悬浮粒子浓度受控的房间。
影响无尘室的气流因素很多，如制程设备、人员、无尘室组装材、照明器具等，同时对于生产设备上方气流的分流点，亦应列入考虑因素。一般操作台或生产设备等表面的气流分流点，应设于无尘室空间与隔墙板间距2/3之处，如此可使作业人员工作时，气流可从制程区内部流向作业区，而将微尘带走;若分流点配置在制程区前方，将成为不当的气流分流，此时大部分的气流将流至制程区之后，作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面，工作台因而将受到污染，良率也势必降低。无尘室内的工作桌等障碍物，在相接处均会有涡流现象发生，相对地在其附近之洁净度将会较差，在工作桌面钻上回风孔，将使涡流现象减少比较低;组装材料之选择是否恰当、设备布局是否完善，亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。 无尘室的要求有哪些？吉安10000级无尘室方案
无尘室要有符合环境、无尘室内部的清洗溶液及振动、设备、空气过滤系统的耐久材料。吉安10000级无尘室方案
21世界，产业的发展，加速了产业结构的变革，无尘室设立之必要性也相对地提高。商品日渐的小型化和精密化，尘埃和温湿的变化对商品的完成度亦造成极大的危害，导致品质低下。伴随商品的高品质要求，环境无尘化的需求也日益提高。因此在无尘室中用防尘材料及商品都显得格外重要。所谓的无尘室是一个人造的环境，里面含有的粒子远低于一般的环境，随着集成电路的级数的快速成长，也增加了对制造环境(无尘室)洁净度要求，在工业上即使使粒子之尺寸想小于。优于纳米技术的兴起，造成半导体关键尺寸持续缩小，集成电路积集度不断地增加，尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。例如当金属尘粒落到金属导线时，就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上，可能将其腐蚀，所以无尘室为集成电路制造不可或缺的要素。吉安10000级无尘室方案
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