佛山超大规模集成电路技术

    在各个实施例中，互连层a可以是互连线层、互连层、第三互连线层或更高金属互连线层。的截面图所示，在互连层a的上表面上方形成多个底电极通孔。多个底电极通孔由介电层围绕。在一些实施例中，介电层可以沉积在互连层a上方，并且然后选择性地被图案化以限定底电极通孔开口。然后通过在底电极通孔开口内的沉积工艺形成多个底电极通孔。在各个实施例中，介电层可以包括碳化硅、富硅氧化物、teos(正硅酸乙酯)等的一种或多种。在各个实施例中，多个底电极通孔可以包括导电材料，诸如钛、氮化钛、钽等。在多个底电极通孔上方形成多个mtj器件、和。多个mtj器件、和分别包括mtj，mtj具有通过介电遂穿阻挡层与自由层分隔开的固定层。在一些实施例中，固定层可以形成为接触底电极通孔。在其它实施例中，自由层可以形成为接触底电极通孔。多个mtj器件、和中的一个包括被配置为存储数据状态的工作mtj器件。多个mtj器件、和中的一个或多个包括设置在调节访问装置内的调节mtj器件和，调节访问装置被配置为控制(即，调节)提供给相关的工作mtj器件的电流。在一些实施例中，可以同时形成多个mtj器件、和。例如，在一些实施例中，可以通过在介电层和多个底电极通孔上方沉积磁固定膜。未来的人工智能、汽车电子、物联网、5G等行业都可以为集成电路行业提供新的发展空间。佛山超大规模集成电路技术

    内的工作mtj器件不受写入操作的步骤的影响，因为非零偏置电压v(例如。v)和第四非零偏置电压v(例如，v)之间的差异使得电流i流过存储单元a,内的调节mtj器件。然而，电流i的两倍小于切换电流isw，因此没有将数据状态写入至存储单元a,内的工作mtj器件。类似地，连接至字线wl和wl的工作mtj器件也不受写入操作的步骤的影响。b的示意图所示，通过将数据状态写入存储器阵列的行中的存储单元a,内的工作mtj器件来实施写入操作的步骤。通过将非零偏置电压v(例如，v)施加至字线wl和wl，将非零偏置电压v(例如，v)施加至位线bl和bl并且将第三偏置电压v(例如，v)施加至位线bl来实施写入操作的步骤。非零偏置电压v(例如，v)和第三偏置电压v(例如，v)之间的差异使得电流i流过存储单元a,内的调节mtj器件。电流i小于切换电流isw，使得存储单元a,内的调节mtj器件的状态不变。然而，电流i(其流过存储单元a,内的工作mtj器件)的两倍大于切换电流isw，以将数据状态写入存储单元a,内的工作mtj器件。存储单元a,和第三存储单元a,内的工作mtj器件不受写入操作的步骤的影响，因为非零偏置电压v(例如，v)和非零偏置电压v。例如，v)之间的差异使得小于切换电流的电流i流过存储单元a,和第三存储单元a。北京数字集成电路哪家好现货商深圳市美信美科技有限公司，只做原装进口集成电路。

    出了具有调节访问装置的存储器电路的一些额外实施例的示意图，该调节访问装置包括调节mtj器件，该调节mtj器件被配置为选择性地对工作mtj器件提供访问。图a至图c示出了图的公开的存储器电路的读取和写入操作的一些实施例的示意图。图a至图b示出了对应于图的公开的存储器电路的集成芯片的截面图的一些实施例。图a至图b示出了具有调节访问装置的存储器电路的一些额外实施例。该调节访问装置被配置为选择性地对工作mtj器件提供访问。深圳市美信美科技有限公司于2020年04月17日成立。公司经营范围包括：一般经营项目是：电子产品及其配件的技术开发与销售；国内贸易等。本公司主营推广销售AD（亚德诺）,LINEAR（凌特）以及TI、MAXIM、NXP等国际品牌集成电路。产品广泛应用于：汽车、通信、消费电子、工业控制、医疗器械、仪器仪表、安防监控等领域。本公司一直秉承优势服务，诚信合作的原则，以现代化管理以及优势的渠道价格、良好的信誉与广大客户建立了长期友好的合作关系，为广大厂商和市场客户提供优势的产品服务。图a至图b示出了具有调节访问装置的存储器电路的一些额外实施例，该调节访问装置被配置为选择性地对工作mtj器件提供访问。

    分别包括配置为存储数据的工作mtj器件和配置为选择性地对工作mtj器件提供访问的调节访问装置。调节访问装置包括连接至工作mtj器件的同一层的调节mtj器件和调节mtj器件。调节mtj器件连接在多条字线wl至wl的条和多条偏置电压线bvl至bvl的条之间。调节mtj器件连接在多条位线bl至bl的条和多条偏置电压线bvl至bvl的条之间。工作mtj器件连接在多条偏置电压线bvl至bvl的条和多条位线bl至bl的条之间。在操作期间，位线解码器被配置为选择性地将信号施加至一条或多条位线bl至bl，并且字线解码器被配置为选择性地将信号施加至一条或多条字线wl至wl和一条或多条偏置电压线bvl至bvl。施加的信号使得调节mtj器件内的电流基于提供给存储器阵列的整个列的电压而产生。而将调节访问装置连接至位线bl使得调节mtj器件内的电流基于提供给存储器阵列的整个行的电压而产生。将调节访问装置连接至在不同方向上延伸的位线和字线允许改进存储器阵列的存储单元之间的隔离。图b示出了对应于图a的存储器电路的集成电路的一些额外实施例的截面图。图a至图b示出了包括存储器电路的集成芯片的一些额外实施例，该存储器电路具有被配置为选择性地对工作mtj器件提供访问的调节访问装置。进口集成电路，认准深圳市美信美科技。

    调节访问装置包括调节mtj器件和调节mtj器件。调节mtj器件、调节mtj器件和工作mtj器件分别包括垂直布置在底电极通孔和顶电极通孔之间的mtj。在一些实施例中，顶电极通孔可以通过通孔(例如，铜通孔)连接至上面的互连层。在一些实施例中，底电极通孔和顶电极通孔可以包括金属，诸如氮化钛(tin)、氮化钽(tan)、钛(ti)、钽(ta)等。在一些实施例中，互连层b从调节mtj器件正上方连续延伸至调节mtj器件正上方。调节mtj器件、调节mtj器件和工作mtj器件分别包括由介电遂穿阻挡层分隔开的自由层和固定层。自由层具有被配置为响应于电信号(例如，电流)而改变的磁矩。固定层具有固定的磁取向，该磁取向被配置为用作参考磁方向和/或减少对自由层的磁冲击。在一些实施例中，mtj中的一个或多个可以包括附加层。例如，在一些实施例中，mtj中的一个或多个可以包括位于底电极通孔和固定层之间的反铁磁层。在其它实施例中，mtj中的一个或多个可以包括以各种方式布置的附加固定层(例如，附加固定层、附加固定层等)和/或附加自由层(例如，附加自由层、附加自由层等)以改进mtj的性能。图b示出了对应于图的存储器阵列的集成芯片的一些可选实施例的截面图。集成芯片包括布置在衬底上方的介电结构。集成电路可以把模拟和数字电路集成在一个单芯片上，以做出如模拟数字转换器和数字模拟转换器等器件。常州混合集成电路分类

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    字线解码器和偏置电路可以包括相同的电路元件(即，字线解码器可以将信号施加至偏置电压线bvly)。在操作期间，为了访问工作mtj器件，偏置电路和字线解码器可以将电压施加至偏置电压线bvly和字线wlx，以设置存储器阵列的行内的调节mtj器件的值。随后，位线解码器可以施加位线电压，该位线电压允许访问多个存储单元a,至c,中的选择的存储单元，而不访问多个存储单元a,至c,中的未选择的存储单元。例如，为了将数据写入存储单元a,内的工作mtj器件，可以将组偏置电压施加至字线wl和偏置电压线bvl。组偏置电压赋予行内的调节访问装置低电阻。可以将组偏置电压施加至其它行中的偏置电压线bvl和字线wl，以赋予其它行内的调节访问装置高电阻。然后将位线电压施加至位线bl。存储单元a,内的调节访问装置的低电阻使得大电流(例如，大于切换电流)流过存储单元a,内的工作mtj器件，同时存储单元a,内的调节访问装置的高电阻使得小电流(例如，小于切换电流)流过存储单元a,内的工作mtj器件。图b示出了对应于图a的存储器电路的集成电路的一些实施例的截面图。图a至图b示出了包括存储器电路的集成芯片的一些额外实施例，该存储器电路具有被配置为选择性地对工作mtj器件提供访问的调节访问装置。佛山超大规模集成电路技术