侧壁间隔件261和262)的节距p3可以等于或者不同于与该心轴图案相邻的心轴图案的两个相对的侧壁间隔件(例如，侧壁间隔件262和263)的节距p4。在一些实施例中，侧壁间隔件261至266的平均节距被减小到抗蚀剂图案pr1、pr2和pr3的1/2平均节距。在一些实施例中，可以以图4f的结构作为起点来按顺序应用施加空间层和重复蚀刻步骤。参照图4g，可以在介电层220上方、在侧壁间隔件261至266上方以及在侧壁间隔件261至266的侧壁上形成第二间隔层270。换言之，侧壁间隔件261至266可以用作第二心轴图案。在一些实施例中，已经制造261至266以接受材料沉积，然后将蚀刻掉261至266，在原位留下沉积的材料。在介电层220和侧壁间隔件261至266上方设置第二间隔层270。第二间隔层270包括与介电层220和侧壁间隔件261至266不同的一种或更多种材料，使得第二间隔层270针对蚀刻工艺具有不同的蚀刻选择性。可以通过cvd工艺、pvd工艺、ald工艺或其他合适的沉积技术形成第二间隔层270。参照图4h，针对第二间隔层270执行蚀刻工艺，从而定义第二侧壁间隔件271至282。参照图4i，执行具有合适的蚀刻选择性的蚀刻工艺以去除侧壁间隔件261至266，并且保留第二侧壁间隔件271至282。上海海谷电子有限公司为您提供电子料回收，欢迎新老客户来电！吉林批量电子物料回收市场
所述方法包括：提供两个印刷电路装配件，每个所述印刷电路装配件包括：系统板，在所述系统板上的多个印刷电路板插座，多个液体冷却管，每个所述液体冷却管邻接于所述印刷电路板插座中的一个印刷电路板插座地耦联至所述系统板，连接至所述印刷电路板插座的多个集成电路模块，和多个散热器，每个所述散热器与所述集成电路模块中的一个集成电路模块热耦联；以及将所述印刷电路装配件彼此相对地布置，使得所述两个印刷电路装配件的集成电路模块彼此交错，并且所述印刷电路装配件中的每个印刷电路装配件的散热器的顶表面与另一个印刷电路装配件的液体冷却管热耦联。附图说明参考下列附图，根据一个或多个不同实施例详细描述了本公开。附图出于说明的目的提供，并且描绘典型或示例的实施例。图1是系统的关系图，在该系统中可以实施不同实施例。图2a和图2b示出了根据一个实施例的双列直插式存储模块(dimm)组件。图3示出了图2a和图2b的双列直插式存储模块组件的一侧的视图。图4a示出了根据一个实施例的两个相同的印刷电路装配件。图4b示出了图4a的两个印刷电路装配件，所述两个印刷电路装配件相对地放置在一起。吉林电子料高价回收平台上海海谷电子有限公司为您提供电子料回收，有想法可以来我司咨询！
每条线路m1可以通过形成在层ly1与第二层ly2之间的多个下通孔接触件v0中的一个连接到多个导电接触件ca和cb中的一个。多个下通孔接触件v0中的每个可以例如通过穿过第二层间绝缘层134连接到多个导电接触件ca和cb中的一个。多个下通孔接触件v0可以通过第二层间绝缘层134彼此绝缘。线路m171至78可以包括在标准单元scl中使多个区域电连接的内部连接线路。例如，内部连接线路m178可以通过下通孔接触件v055和58以及接触件24和33将器件区rx1中的有源区ac和第二器件区rx2中的有源区ac电连接。线路m171和72可以分别对应于电力轨和第二电力轨。电力轨71可以连接到器件区rx1中的有源区ac。第二电力轨72可以连接到第二器件区rx2中的有源区ac。电力轨71和第二电力轨72中的一个可以是用于供应电源电压(例如，电源电压vdd)的线路，而电力轨71和第二电力轨72中的另一个可以是用于供应接地电压(例如，第二电源电压vss)的线路。电力轨71和第二电力轨72可以在第二层ly2上沿方向x彼此平行地延伸。在一些示例实施例中，电力轨71和72可以与其他线路m173至78基本同时形成。线路m1可以穿过第三层间绝缘层136。第三层间绝缘层136可以使线路m1彼此绝缘。
多个mtj器件106、204和206分别包括mtj，mtj具有通过介电遂穿阻挡层112与自由层114分隔开的固定层110。在一些实施例中，固定层110可以形成为接触底电极通孔408。在其它实施例中，自由层114可以形成为接触底电极通孔408。多个mtj器件106、204和206中的一个包括被配置为存储数据状态的工作mtj器件106。多个mtj器件106、204和206中的一个或多个包括设置在调节访问装置108内的调节mtj器件204和206，调节访问装置108被配置为控制(即，调节)提供给相关的工作mtj器件106的电流。在一些实施例中，可以同时形成多个mtj器件106、204和206。例如，在一些实施例中，可以通过在介电层1002和多个底电极通孔408上方沉积磁固定膜，在磁固定膜上方形成介电阻挡膜，并且在介电阻挡膜上方形成磁自由膜来形成多个mtj器件106、204和206。可以对磁固定膜、介电阻挡层和磁自由膜实施一个或多个图案化工艺以限定多个mtj器件106、204和206。在其它实施例中，可以在不同时间形成多个mtj器件106、204和206。如图11的截面图1100所示，在多个mtj器件106、204和206上方形成多个顶电极通孔410。多个顶电极通孔410由第二ild层1102围绕。在一些实施例中。上海海谷电子有限公司是一家专业提供电子料回收的公司，欢迎新老客户来电！
可以在多个mtj器件106、204和206上方沉积第二ild层1102，并且然后选择性地图案化第二ild层1102以限定顶电极通孔开口。然后通过沉积工艺在顶电极通孔开口内形成多个顶电极通孔410。在各个实施例中，第二ild层1102可以包括一种或多种介电材料，诸如二氧化硅(sio2)、sicoh、氟硅酸盐玻璃、磷酸盐玻璃(例如，硼磷硅酸盐玻璃)等。在各个实施例中，多个顶电极通孔410可以包括导电材料，诸如钛、氮化钛、钽等。在多个mtj器件106、204和206上方的第三ild层1104内形成第二互连层406b。在一些实施例中，第二互连层406b包括限定存储单元202a,1的位线bl1和一条或多条字线wl1至wl2的多个互连结构。在一些实施例中，第三ild层1104可以包括通过一个或多个沉积工艺(例如，pvd、cvd、pe-cvd等)形成的电介质(例如，氧化物、低k电介质或k电介质)。可以通过选择性地蚀刻第三ild层1104以在第三ild层1104内形成开口来形成第二互连层406b。然后在开口内沉积导电材料(例如，铜和/或铝)，以及随后的平坦化工艺(例如，化学机械平坦化工艺)以形成第二互连层406b。如图12的截面图1200所示，可以在存储单元202a,1上方形成第二存储单元202b,1。第二存储单元202b。电子料回收，请选择上海海谷电子有限公司，让您满意，欢迎您的来电哦！山西电子料库存回收平台
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例如，2v)之间的差异使得小于切换电流的第二电流i2流过存储单元202a,1和第三存储单元202a,3内的调节mtj器件。然而，电流i2的两倍小于切换电流isw，使得没有将数据状态写入至存储单元202a,1和第三存储单元202a,3内的工作mtj器件。图3c示出了示出从工作mtj器件读取数据状态的读取操作的示意图304的一些实施例。如示意图304所示，通过将非零偏置电压v1(例如，2v)施加至字线wl1，对存储单元202a,1内的工作mtj器件实施读取操作。非零偏置电压v1将使得读取电流ir通过存储单元202a,1内的工作mtj器件。通过工作mtj器件的读取电流ir具有取决于工作mtj器件的电阻状态的值。例如，工作mtj器件处于低电阻状态(例如，存储逻辑“0”)时的读取电流ir将大于工作mtj器件处于高电阻状态(例如，存储逻辑“1”)的读取电流ir。在一些实施例中，位线解码器116可以包括多路复用器，多路复用器被配置为确定存储器阵列102的期望输出。多路复用器被配置为将来自存储单元202a,1内的工作mtj器件的读取电流ir选择性地提供给感测放大器306，感测放大器306被配置为比较ir与由电流源308产生的参考电流iref，以确定存储在存储单元202a,1内的工作mtj器件中的数据状态。吉林批量电子物料回收市场
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