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来源: 发布时间:2022年06月12日

工作mtj器件通过设置在衬底上方的介电结构与调节mtj器件横向分隔开。在一些实施例中,集成芯片还包括布置在位于工作mtj器件正上方的存储单元内的第二工作mtj器件,第二工作mtj器件被配置为存储第二数据状态。在一些实施例中,工作mtj器件通过不延伸穿过衬底的连续导电路径连接在位线和字线之间。在其它实施例中,本发明涉及集成电路。集成电路包括布置在衬底上方的介电结构内的互连层,互连层通过介电结构与衬底分隔开;以及调节mtj器件,布置在互连层正上方并且被配置为存储数据状态,工作mtj器件通过包括多个互连层并且不延伸穿过衬底的连续导电路径电连接在位线和字线之间。在一些实施例中,集成电路还包括调节访问装置,其具有连接在字线和工作mtj器件之间的调节mtj器件,调节mtj器件具有通过介电阻挡层与自由层分隔开的固定层。在一些实施例中,互连层从工作mtj器件正下方连续延伸至调节mtj器件正下方。在一些实施例中,集成电路还包括连接在第二字线和工作mtj器件之间的第二调节mtj器件,字线和第二字线连接至字线解码器。在一些实施例中,调节mtj器件与第二调节mtj器件具有不同的尺寸。在一些实施例中。电子料回收,请选择上海海谷电子有限公司,有需要可以联系我司哦!北京电子物料回收中心

在介电层220以及心轴图案231、232和233的上方设置间隔层260。间隔层260包括与介电层220和心轴图案231、232和233不同的一种或更多种材料,使得间隔层260针对蚀刻工艺具有不同的蚀刻选择性。可以通过cvd工艺、pvd工艺、原子层沉积(ald)工艺或其他合适的沉积技术形成间隔层260。参照图4e,针对间隔层260执行蚀刻工艺,因此定义侧壁间隔件261至266。侧壁间隔件261(类似地,262至266)在此可以称为第二心轴图案。如图4e中所示,心轴图案231在蚀刻之前存在。图4f中示出蚀刻掉心轴图案231后的结果(例如,侧壁间隔件261和262保留)。在一些实施例中,在261与262之间获得的节距(在一些实施例中也称为距离、间隔、分辨率、特征分辨率或特征分隔距离)比使用提供图4b的抗蚀剂图案pr1、pr2和pr3的光刻可获得的节距小或精确。参照图4f,执行具有合适的蚀刻选择性的蚀刻工艺以去除心轴图案231、232和233,并且保留侧壁间隔件261至266。261形成为侧壁,并且在一些实施例中,将在后面的工艺步骤中被蚀刻掉,因此它是间隔件。总而言之,261可以被称为侧壁间隔件。侧壁间隔件261至266在方向x上具有节距p3和p4以及宽度w3。与一个心轴图案对应的两个侧壁间隔件(例如。湖北电子元件回收处理上海海谷电子有限公司致力于提供电子料回收,欢迎新老客户来电!

公开的写入操作可以在调节mtj器件(例如,图2中的204至206)处于高电阻状态来实施,以在选择和未选择的单元之间提供隔离。如图3a的示意图300所示,写入操作的步骤通过将数据状态写入存储器阵列102的行301中的存储单元202a,1和第三存储单元202a,3内的工作mtj器件来实施。通过将非零偏置电压v1(例如,2v)施加至字线wl1和wl2,将第二非零偏置电压v2(例如,6v)施加至字线wl3,将第三非零偏置电压v3(例如,8v)施加至位线bl1和bl3,并且将第四非零偏置电压v4(例如,4v)施加至位线bl2来实施写入操作的步骤。非零偏置电压v1(例如,2v)和第三非零偏置电压v3(例如,8v)之间的差异使得电流i1流过存储单元202a,1和第三存储单元202a,3内的调节mtj器件。电流i1小于切换电流isw,使得存储单元202a,1和第三存储单元202a,3内的调节mtj器件的状态不变。然而,来自调节mtj器件的电流加在一起,使得为电流i1的两倍的电流流过存储单元202a,1和第三存储单元202a,3内的工作mtj器件。电流i1的两倍的电流大于切换电流isw,以将数据状态写入存储单元202a,1和第三存储单元202a,3内的工作mtj器件。第二存储单元202a,2内的工作mtj器件不受写入操作的步骤的影响,因为非零偏置电压v1(例如。

每个单元线路结构可以包括六条金属线和四条栅极线。在这种情况下,单元线路结构未被划分为两个子线路结构,使得每个子线路结构包括三条金属线和两条栅极线。在一些示例实施例中,每个单元线路结构可以包括十二条金属线和八条栅极线。在这种情况下,单元线路结构未被划分为四个子线路结构,使得每个子线路结构包括三条金属线和两条栅极线,并且单元线路结构未被划分为两个子线路结构,使得每个子线路结构包括六条金属线和四条栅极线。当半导体工艺按比例缩小时,集成在一个集成电路中的晶体管的数量呈指数增长。由于晶体管的数量大,因此使用标准单元库来设计集成电路,该标准单元库包括使逻辑门标准化而不是定制设计的多个标准单元。可以通过标准单元库、逻辑合成工具以及自动布局和布线工具自动地设计实现期望的功能的复杂的集成电路。标准单元被布置为形成用于自动设计的多个行,并且制造的集成电路的行具有除光学偏差之外的规则节距。集成电路的栅极线在列方向上延伸并且在行方向上重复地布置。栅极线上方的金属线双向或单向地传输信号和/或电压。通常,上层中的金属线被实现为单向的。栅极线和金属线非常密集,并且栅极线和金属线的节距在光刻工艺中用作图案的限制。电子料回收,请选择上海海谷电子有限公司,有需求可以来电咨询!

1至202c,3分别包括被配置为存储数据的工作mtj器件106和通过调节提供给工作mtj器件106的电流而选择性地对工作mtj器件106提供访问的调节访问装置108。在一些实施例中,调节访问装置108包括连接至工作mtj器件106的同一层的调节mtj器件204和第二调节mtj器件206。例如,调节mtj器件204和第二调节mtj器件206可以都连接至工作mtj器件106的固定层110。在一些实施例中,调节mtj器件204连接在工作mtj器件106和字线wlx之间(x=1,3,5),并且第二调节mtj器件206连接在工作mtj器件106和第二字线wly(y=2,4,6)之间。例如,在存储单元202a,1中,调节mtj器件204连接在工作mtj器件106和字线wl1之间,而第二调节mtj器件206连接在工作mtj器件106和字线wl2之间。调节mtj器件204、第二调节mtj器件206和工作mtj器件106分别包括mtj,mtj具有通过介电遂穿阻挡层112与自由层114分隔开的固定层110。在一些实施例中,固定层110可以包括钴(co)、铁(fe)、硼(b)、镍(ni)、钌(ru)、铱(ir)、铂(pt)等。在一些实施例中,介电遂穿阻挡层112可以包括氧化镁(mgo)、氧化铝(al2o3)等。在一些实施例中,自由层114可以包括钴(co)、铁(fe)、硼(b)等。在操作期间。上海海谷电子有限公司为您提供 电子料回收,有需要可以联系我司哦!北京电子物料回收中心

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正式揭露了即将与ISSI整并的消息;除了合并ISSI,兆易创新台面下也正积极筹画建厂,兆易创新传出将与中芯前执行长王宁国所主导的合肥长鑫团队共同在合肥建立存储厂。2016年12月1日北京君正晚间发布重组预案,公司拟以发行股份及支付现金的方式购买北京豪威100%股权、视信源100%股权、思比科。交易对价总计133亿元。2016年8月,跨界的A股上市公司方大化工发布重大资产重组方案,公司拟以发行股份及支付现金的方式购买长沙韶光、威科电子、成都创新达三家公司的100%股权。虽然没有获得通过,但是方大化工会继续推动并购重组。11月30日,珠海艾派克科技股份有限公司(“艾派克”)发布《关于重大资产购买完成交割的提示性公告》,宣布以39亿美元的价格完成对品牌打印机及软件公司美国利盟国际100%股权的收购。此次收购由艾派克、太盟投资集团、君联资本共同完成,三家投资方的出资比例分别为、。4、中国资本和企业越洋大收购2016年,在半导体产业整并风潮中未被透露的重要讯息,是几乎每一桩M&A交易背后都有中国投资者的身影…或者是化身总部在美国的股权业者,但幕后都有可追溯至中国的资金。成功的案例有3家,NXP标准器件部门,ISSI和豪威半导体。北京电子物料回收中心

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