用显微镜观察也难以看出的程度)3：有少量残渣4：基本能剥离，但一部分残渣多5：一半以上能剥离，但一部分残渣多6：基本不能剥离，但一部分剥离7：不能剥离【表2】由该结果可知，在含有溶纤剂的抗蚀剂的剥离液中使用氢氧化钾代替氢氧化钠的本发明组成，与使用氢氧化钠的比较组成相比，即使l/s狭窄，也能除去抗蚀剂。(3)剥离性能的评价方法将液温设为50℃的各剥离液使用喷涂装置向上述试验片实施剥离处理，将试验片的粘性部分的dfr以目视全部面积的90％以上被剥离的时刻作为剥离时间。另外，剥离片尺寸(长边)是采集喷涂停止后附着于设置于试验基板固定用的台上的排渣用网眼的剥离片以目视实施的。此时的喷涂装置的条...

上述组分中，酰胺是用于溶解光刻胶；醇醚是用于润湿、膨润、溶解光刻胶的；环胺与链胺，用于渗透、断开光刻胶分子间弱结合力；缓蚀剂，用于降低对金属的腐蚀速度；润湿剂，能够增强亲水性，使得剥离液亲水性良好，能快速高效地剥离溶解光刻胶。进一步技术方案中，所述的步骤s3中重新制备剥离液新液，制备过程中加入酰胺化合物或醇醚化合物，其中重新制备新液时，加入的纯化液体质量分数为：70％-95％，加入的添加剂质量分数为：5％-10％；加入的酰胺化合物质量分数为：0-15％；加入的醇醚化合物质量分数为0-5％。在制备过程中额外加入酰胺化合物以及醇醚化合物是为了调节中心制备的剥离液新液中各组分的质量分数，将配...

所述硫脲类缓蚀剂包括硫脲、苯基硫脲或月桂酰基硫脲中的一种。具体的，所述聚氧乙烯醚类非离子型表面活性剂为聚氧乙烯聚氧丙烯单丁基醚、壬基酚聚氧乙烯醚、辛基酚聚氧乙烯醚、十二烷基聚氧乙烯醚、二壬基酚聚氧乙烯醚中的一种。采用上述技术方案，本发明技术方案的有益效果是：本用于叠层晶圆的光刻胶剥离液具有较快的剥离速度，对金属的腐蚀率低，而且使用寿命长。具体实施方式本发明涉及一种用于叠层晶圆的光刻胶剥离液，配方包括10～20wt％二甲基亚砜，10～20wt％一乙醇胺，5～11wt％四甲基氢氧化铵，～1wt％硫脲类缓蚀剂和～2wt％聚氧乙烯醚类非离子型表面活性剂，5～15wt％n-甲基吡咯烷酮和余量的去...

2)、伺服变频电机(3)、电机减速箱(4)、印刷品放置箱(6)、表面印刷结构(7)、胶面剥离结构(8)，所述主支撑架(1)上方设置有所述横向支架(2)，所述横向支架(2)上方设置有所述伺服变频电机(3)，所述伺服变频电机(3)上方设置有所述电机减速箱(4)，所述电机减速箱(4)上方安装有印刷品传送带(5)，所述印刷品传送带(5)一侧安装有所述印刷品放置箱(6)，所述印刷品放置箱(6)一侧安装有所述表面印刷结构(7)，所述表面印刷结构(7)上方设置有油墨放置箱(701),所述油墨放置箱(701)下方安装有油墨加压器(702)，所述油墨加压器(702)下方安装有高压喷头(703)，所述高压...

所述过滤器包括多个并列排布的子过滤器，所述***管道包括多个***子管道，每一所述***子管道与一子过滤器连通，且所述多个***子管道与当前级腔室对应的存储箱连通。在一些实施例中，所述第二管道包括公共子管道及多个第二子管道，每一所述第二子管道与一子过滤器连通，每一所述第二子管道与所述公共子管道连通，所述公共子管道与所述下一级腔室连通。在一些实施例中，所述阀门开关设置在每一所述***子管道上。在一些实施例中，所述阀门开关设置在每一所述第二子管道上。在一些实施例中，所述阀门开关设置在每一所述***子管道及每一所述第二子管道上。在一些实施例中，所述第二管道包括多个第三子管道，每一所述第三子管...

砷化镓也有容易被腐蚀的特点，比如碱性的氨水、酸性的盐酸、硫酸、硝酸等。去胶，也成为光刻胶的剥离。即完成光刻镀膜等处理之后，需要去除光刻胶之后进行下一步。有时直接采用**+异丙醇的方式就可以去除。但是对于等离子体处理过的光刻胶，一般就比较难去除干净。有的人把**加热到60℃，虽然去胶效果快了一些，但是**沸点是60℃，挥发的特别快，而且**蒸汽也有易燃的风险，因此找一款去胶效果好的光刻胶剥离液十分有必要。介绍常见的一款剥离液，该剥离液去胶效果好，但是对砷化镓有轻微腐蚀，不易长时间浸泡。工艺参数因产品和光刻胶的种类而不同，但基本上都要加热。好的剥离液的标准是什么。配方剥离液供应常在印刷电路板，液晶...

所述防溅射挡板下方安装有印刷辊,所述表面印刷结构一侧安装有所述胶面剥离结构，所述胶面剥离结构上方安装有收卷调速器，所述收卷调速器一侧安装有收卷驱动电机，所述收卷驱动电机一侧安装有辊固定架，所述辊固定架一侧安装有胶水盛放箱，所述胶水盛放箱下方安装有点胶头，所述点胶头下方安装有卷边辊，所述卷边辊一侧安装有胶面收卷辊，所述胶面剥离结构一侧安装有电加热箱，所述电加热箱下方安装有热风喷头，所述热风喷头下方安装有干燥度感应器,所述干燥度感应器下方安装有电气控制箱，所述电气控制箱上方安装有液晶操作面板。进一步的，所述主支撑架与所述横向支架通过螺栓连接，所述伺服变频电机与所述电机减速箱通过导线连接。进...

按照组成成分和应用工艺不同，湿电子化学品可分为通用性和功能性湿电子化 学品。通用湿电子化学品以超净高纯试剂为主，一般为单组份、单功能、被大量使 用的液体化学品，按照性质划分可分为：酸类、碱类、有机溶剂类和其他类。酸类 包括氢氟酸、硝酸、盐酸、硫酸、磷酸等；碱类包括氨水、氢氧化钠、氢氧化钾等；有机溶剂类包括甲醇、乙醇、异丙醇、**、乙酸乙酯等；其他类包括双氧水等。功能湿电子化学品指通过复配手段达到特殊功能、满足制造中特殊工艺需求的复配 类化学品，即在单一的超净高纯试剂（或多种超净高纯试剂的配合）基础上，加入 水、有机溶剂、螯合剂、表面活性剂混合而成的化学品。例如剥离液、显影液、蚀 刻液、清洗液等...

根据新思界产业研究中心发布的《2020-2024年中国剥离液行业市场供需现状及发展趋势预测报告》显示，剥离液属于湿电子化学品的重要品类，近几年受新能源、汽车电子等产业的快速发展，我国湿电子化学品市场规模持续扩增，2019年我国湿电子化学品市场规模达到100亿元左右，需求量约为138万吨。随着剥离液在半导体产业中的应用增长，剥离液产量以及市场规模随之扩大，2019年我国半导体用剥离液需求量约为2.1万吨，只占据湿电子化学品总需求量的1.5%左右。从竞争方面来看，当前全球剥离液的生产由湿电子化学品企业主导，主要集中在欧美、日韩以及中国，代表性企业有德国巴斯夫、德国汉高、美国霍尼韦尔、美国ATMI公...

湿电子化学品位于电子信息产业偏中上游的材料领域。湿电子化学品上游是基 础化工产品，下游是电子信息产业（信息通讯、消费电子、家用电器、汽车电子、 LED、平板显示、太阳能电池、**等领域）。湿电子化学品的生产工艺主要采用物 理的提纯技术及混配技术，将工业级的化工原料提纯为超净高纯化学试剂，并按照 特定的配方混配为具有特定功能性的化学试剂。湿电子化学品行业是精细化工和电 子信息行业交叉的领域，其行业特色充分融入了两大行业的自身特点，具有品种多、 质量要求高、对环境洁净度要求苛刻、产品更新换代快、产品附加值高、资金投入 量大等特点，是化工领域相当有发展前景的领域之一。哪家的剥离液的价格低？江苏什么剥...

701、油墨放置箱；702、油墨加压器；703、高压喷头；704、防溅射挡板；705、印刷辊；8、胶面剥离结构；801、收卷调速器；802、收卷驱动电机；803、辊固定架；804、胶水盛放箱；805、点胶头；806、卷边辊；807、胶面收卷辊；9、电加热箱；10、热风喷头；11、干燥度感应器；12、电气控制箱；13、液晶操作面板。具体实施方式下面结合附图对本**技术作进一步说明：如图1-图4所示，一种印刷品胶面印刷剥离复合装置，包括主支撑架1、横向支架2、伺服变频电机3、电机减速箱4、印刷品放置箱6、表面印刷结构7、胶面剥离结构8，所述主支撑架1上方设置有所述横向支架2，所述横向支架2...

采用此方法可以制备出负性光刻胶所能制备的任意结构，同时相比于传统的加工，本方案加工效率可以提高上千倍，且图形的结构越大相对的加工效率越高。本发明为微纳制造领域，光学领域，电学领域，声学领域，生物领域，mems制造，nems制造，集成电路等领域提供了一种新的有效的解决方案。附图说明图1为本发明制备用电子束在pmma上曝光出圆形阵列的轮廓；图2为本发明用黏贴层撕走pmma轮廓以外的结构后得到的圆形柱状阵列；图3为实施例1步骤三的结构图；图4为实施例1步骤四的结构图；图5为实施例1步骤五的结构图；图6为实施例1步骤六的结构图。具体实施方式为了使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合...

缩短了某些领域与发达国家技术上的差距.腾田化学技术团队具有丰富分析及研发经验，彻底解决了化工领域如金属表面处理剂、清洗剂、金属加工液、橡胶、塑料、胶黏剂、涂料、水处理药剂、纺织印染助剂等企业配方改进、新产品研发的切实问题；正是腾田化学质量的口碑，赢得多个领域**企业关注，成功地建立精细化学品研发平台；在腾田化学共同努力下，民营企业不断技术创新，有利于化工行业的良好发展.腾田化学温馨提示：当你有产品分析数据，但是无法后期生产的时候，可以联系腾田化学科技（上海）有限公司。腾田化学的业务范围：1.各类胶粘剂产品配方分析以及产品研发，为客户提供产品配方及生产；2.涂料及油墨产品配方分析，为客户...

随着国内电子制造产业和光电产业的迅速发展，光刻胶剥离液等电子化学品的使用量也大为増加。特别是纵观近几年度的光电行业，风靡全球的智能手持设备、移动终端等简直成为了光电行业的风向标：与之相关的光电领域得到了飞速的发展，镜头模组、滤光片、LTPS液晶显示面板、触摸屏幕、传感器件等等。而光电行业的其他领域，虽然也有增长，但是远不及与智能手持设备相关的光电领域。工业上所使用的剥离液主要是有机胺和极性有机溶剂的组合物，通过溶胀和溶解方式剥离除去光刻胶。上述有机胺可包括单乙醇胺(MEA)，二甲基乙酰胺(DMAC)， N-甲基甲酰胺(NMF)，N-甲基ニ乙醇胺(MDEA)等。上述极性有机溶剂可包括二乙二醇甲醚...

实施例1～6：按照表1配方将二甲基亚砜、一乙醇胺、四甲基氢氧化铵、硫脲类缓蚀剂、聚氧乙烯醚类非离子型表面活性剂、n-甲基吡咯烷酮和去离子水混合，得到用于叠层晶圆的光刻胶剥离液。表1：注：含量中不满100wt％的部分由去离子水补足余量。以cna披露的光刻胶剥离液作为对照例，与实施例1～6所得用于叠层晶圆的光刻胶剥离液进行比较试验，对面积均为300cm2的叠层晶圆上的光刻胶进行剥离并分别测定剥离周期、金属镀层的腐蚀率和过片量(剥离的面壁数量)。对比情况见表2：表2：剥离周期/s金属腐蚀率/ppm过片量/片实施例1130～15015376实施例2130～15016583实施例3130～150...

上述组分中，酰胺是用于溶解光刻胶；醇醚是用于润湿、膨润、溶解光刻胶的；环胺与链胺，用于渗透、断开光刻胶分子间弱结合力；缓蚀剂，用于降低对金属的腐蚀速度；润湿剂，能够增强亲水性，使得剥离液亲水性良好，能快速高效地剥离溶解光刻胶。进一步技术方案中，所述的步骤s3中重新制备剥离液新液，制备过程中加入酰胺化合物或醇醚化合物，其中重新制备新液时，加入的纯化液体质量分数为：70％-95％，加入的添加剂质量分数为：5％-10％；加入的酰胺化合物质量分数为：0-15％；加入的醇醚化合物质量分数为0-5％。在制备过程中额外加入酰胺化合物以及醇醚化合物是为了调节中心制备的剥离液新液中各组分的质量分数，将配...

光电行业的大力发展，致使剥离液被国内外研究人员所关注及研究，虽然在**网及技术网上对剥离液的阐述较少，但当前国内与国外均在剥离液废液如何利用及处置方面有了一定的成果，。美国专利US7273560公布了包含单乙醇胺与二乙二醇单丁醚组合的光刻胶剥离液废液中含有、77%的二乙二醇单丁醚、3%的光刻胶和。现有技术***采用的光刻胶剥离液废液回收方法通常是通过薄膜蒸发器回收大部分的有机成分，回收得到的有机组分或再经脱色脱水等处理后可再次作为光刻胶剥离液应用。这种方法虽然流程简便，但在使用薄膜蒸发器蒸发溶剂过程中，光刻胶浓度达到一定程度后其传热传质效率快速下降，使溶剂回收效率大为降低，处理能耗...

上述组分中，酰胺是用于溶解光刻胶；醇醚是用于润湿、膨润、溶解光刻胶的；环胺与链胺，用于渗透、断开光刻胶分子间弱结合力；缓蚀剂，用于降低对金属的腐蚀速度；润湿剂，能够增强亲水性，使得剥离液亲水性良好，能快速高效地剥离溶解光刻胶。进一步技术方案中，所述的步骤s3中重新制备剥离液新液，制备过程中加入酰胺化合物或醇醚化合物，其中重新制备新液时，加入的纯化液体质量分数为：70％-95％，加入的添加剂质量分数为：5％-10％；加入的酰胺化合物质量分数为：0-15％；加入的醇醚化合物质量分数为0-5％。在制备过程中额外加入酰胺化合物以及醇醚化合物是为了调节中心制备的剥离液新液中各组分的质量分数，将配...

能够除去抗蚀剂。用本发明剥离液处理施加有抗蚀剂的基材的条件没有特别限定，例如，可以举出在设为10～80℃的本发明剥离液中浸渍基材1～60分钟左右的条件、将设为10～80℃的本发明剥离液向基材喷雾1～60分钟左右的条件。需要说明的是，浸渍时，可以摇动基材，或对本发明剥离液施加超声波。抗蚀剂的种类没有特别限定，可以是例如干膜抗蚀剂、液体抗蚀剂等中的任一种。干膜抗蚀剂的种类也没有特别限定，例如推荐碱可溶型的干膜抗蚀剂。作为这样的碱可溶型的干膜抗蚀剂，例如，可以举出rd-1225(sap用25μm厚)(日立化成株式会社制)等。施加抗蚀剂的基材没有特别限定，例如，可以举出印刷布线板、半导体基板、...

每一所述第二子管道502与所述公共子管道501连通，所述公共子管道501与所述下一级腔室102连通。其中，阀门开关60设置在每一***子管道301上。在一些实施例中，阀门开关60设置在每一***子管道401及每一所述第二子管道502上。在一些实施例中，阀门开关60设置在每一第二子管道502上。具体的，阀门开关60的设置位置可以设置在连接过滤器30的任意管道上，在此不做赘述。在一些实施例中，请参阅图4，图4为本申请实施例提供的剥离液机台100的第四种结构示意图。第二管道50包括多个第三子管道503，每一所述第三子管道503与一子过滤器连通301，且每一所述第三子管道503与所述下一级腔室...

所述胶面剥离结构8上方安装有收卷调速器801，所述收卷调速器801一侧安装有收卷驱动电机802，所述收卷驱动电机802一侧安装有辊固定架803，所述辊固定架803一侧安装有胶水盛放箱804，所述胶水盛放箱804下方安装有点胶头805，所述点胶头805下方安装有卷边辊806，所述卷边辊806一侧安装有胶面收卷辊807，所述胶面剥离结构8一侧安装有电加热箱9，所述电加热箱9下方安装有热风喷头10，所述热风喷头10下方安装有干燥度感应器11,所述干燥度感应器11下方安装有电气控制箱12，所述电气控制箱12上方安装有液晶操作面板13。本实施例中，所述主支撑架1与所述横向支架2通过螺栓连接，所述...

在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本申请实施例提供的剥离液机台的***种结构示意图。图2为本申请实施例提供的剥离液机台的第二种结构示意图。图3为本申请实施例提供的剥离液机台的第三种结构示意图。图4为本申请实施例提供的剥离液机台的第四种结构示意图。图5为本申请实施例提供的剥离液机台的工作方法的流程示意图。具体实施方式目前剥离液机台在工作时，如果过滤剥离光阻时产生的薄膜碎屑的过滤器被阻塞，则需要剥离液机台内的所有工作单元，待被阻塞的过滤器被清理后，才能重新进行剥离制程，使得机台需频繁停线以更换过滤器，极大的降低了生产效率。请参阅图1，图1为本申请实施例提供...

腔室10及过滤器30可以采用与现有技术相同的设计。处于剥离制程中的玻璃基板，按照玻璃基板传送方向从当前腔室101开始逐级由各腔室10向玻璃基板供给剥离液以进行剥离制程。剥离液从当前腔室101进入相应的存储箱20，在剥离液的水平面超过预设高度后流入过滤器30，再经过过滤器30的过滤将过滤后的剥离液传送至下一级腔室102内。其中，薄膜碎屑70一般为金属碎屑或ito碎屑。其中，如图2所示，图2为本申请实施例提供的剥离液机台100的第二种结构示意图。阀门开关60设置在***管道40及第二管道50上。在过滤器30被阻塞时，关闭位于过滤器30两侧的***管道40及第二管道50上的阀门开关60，可以...

本发明**技术公开了一种印刷品胶面印刷剥离复合装置，包括主支撑架、横向支架、伺服变频电机、电机减速箱、印刷品放置箱、表面印刷结构、胶面剥离结构，所述主支撑架上方设置有所述横向支架，所述横向支架上方设置有所述伺服变频电机，所述卷边辊一侧安装有胶面收卷辊，所述胶面剥离结构一侧安装有电加热箱，所述电加热箱下方安装有热风喷头，所述热风喷头下方安装有干燥度感应器,所述干燥度感应器下方安装有电气控制箱，所述电气控制箱上方安装有液晶操作面板。有益效果在于：采用黏合方式对印刷品胶面印刷进行剥离，同时能够对印刷品胶面进行回收，节约了大量材料，降低了生产成本。Aprintedpeelingcompound...

本发明采用一种选择性剥离制备微纳结构的新方法，可制备出任意负性光刻胶所能制备的任意图形且加工效率比传统的加工方法提高了上万倍(以直径为105nm的结构为例),特别是为跨尺度结构的加工，为光学领域，电学领域，声学领域，生物领域，mem制造，nems制造，集成电路等领域提供了一种新的解决方案。本发明的技术方案如下：一种选择性剥离光刻胶制备微纳结构的方法，包括以下步骤：步骤一、提供衬底，并清洗；步骤二、对衬底进行修饰降低光刻胶与衬底的粘附力；步骤三、衬底上旋涂光刻胶得到薄膜；步骤四、在光刻胶上加工出所需结构的轮廓；所述所需结构包括若干**单元，**单元外周形成有闭合的缝隙；步骤五、在光刻胶上...

砷化镓也有容易被腐蚀的特点，比如碱性的氨水、酸性的盐酸、硫酸、硝酸等。去胶，也成为光刻胶的剥离。即完成光刻镀膜等处理之后，需要去除光刻胶之后进行下一步。有时直接采用**+异丙醇的方式就可以去除。但是对于等离子体处理过的光刻胶，一般就比较难去除干净。有的人把**加热到60℃，虽然去胶效果快了一些，但是**沸点是60℃，挥发的特别快，而且**蒸汽也有易燃的风险，因此找一款去胶效果好的光刻胶剥离液十分有必要。介绍常见的一款剥离液，该剥离液去胶效果好，但是对砷化镓有轻微腐蚀，不易长时间浸泡。工艺参数因产品和光刻胶的种类而不同，但基本上都要加热。铜剥离液的配方是什么？无锡哪家剥离液订做价格随着电子元器件...

剥离液是一种通用湿电子化学品，主要用于去除金属电镀或者蚀刻加工完成后的光刻胶和残留物质，同时防止对衬底层造成破坏。剥离液是集成电路、分立器件、显示面板、太阳能电池等生产湿法工艺制造的关键性电子化工材料，下游应用领域***，但整体应用需求较低，因此市场规模偏小。 剥离液应用在太阳能电池中，对于剥离液的洁净度要求较低，*需达到G1等级，下游客户主要要天合、韩华、通威等；应用到面板中，通常要达到G2、G3等级，且高世代线对于剥离液的要求要高于低世代线，下游客户有京东方、中星光电；在半导体中的应用可分等级，在8英寸及以下的晶圆制造中，对于剥离液的要求达到G3、G4水平，大硅片、12英寸晶元等...

每一所述第二子管道502与所述公共子管道501连通，所述公共子管道501与所述下一级腔室102连通。其中，阀门开关60设置在每一***子管道301上。在一些实施例中，阀门开关60设置在每一***子管道401及每一所述第二子管道502上。在一些实施例中，阀门开关60设置在每一第二子管道502上。具体的，阀门开关60的设置位置可以设置在连接过滤器30的任意管道上，在此不做赘述。在一些实施例中，请参阅图4，图4为本申请实施例提供的剥离液机台100的第四种结构示意图。第二管道50包括多个第三子管道503，每一所述第三子管道503与一子过滤器连通301，且每一所述第三子管道503与所述下一级腔室...

本发明**技术公开了一种印刷品胶面印刷剥离复合装置，包括主支撑架、横向支架、伺服变频电机、电机减速箱、印刷品放置箱、表面印刷结构、胶面剥离结构，所述主支撑架上方设置有所述横向支架，所述横向支架上方设置有所述伺服变频电机，所述卷边辊一侧安装有胶面收卷辊，所述胶面剥离结构一侧安装有电加热箱，所述电加热箱下方安装有热风喷头，所述热风喷头下方安装有干燥度感应器,所述干燥度感应器下方安装有电气控制箱，所述电气控制箱上方安装有液晶操作面板。有益效果在于：采用黏合方式对印刷品胶面印刷进行剥离，同时能够对印刷品胶面进行回收，节约了大量材料，降低了生产成本。Aprintedpeelingcompound...

根据新思界产业研究中心发布的《2020-2024年中国剥离液行业市场供需现状及发展趋势预测报告》显示，剥离液属于湿电子化学品的重要品类，近几年受新能源、汽车电子等产业的快速发展，我国湿电子化学品市场规模持续扩增，2019年我国湿电子化学品市场规模达到100亿元左右，需求量约为138万吨。随着剥离液在半导体产业中的应用增长，剥离液产量以及市场规模随之扩大，2019年我国半导体用剥离液需求量约为2.1万吨，只占据湿电子化学品总需求量的1.5%左右。从竞争方面来看，当前全球剥离液的生产由湿电子化学品企业主导，主要集中在欧美、日韩以及中国，代表性企业有德国巴斯夫、德国汉高、美国霍尼韦尔、美国ATMI公...