广东旋转蓄热式焚烧炉RTO

半导体行业的VOCs废气主要来源于光刻、显影、蚀刻和扩散等。在这些工艺中，要用有机溶液(如异丙醇)清洗晶片表面，其挥发产生的废气是有机废气的来源之一。同时，光刻和蚀刻中使用的光刻胶(光致抗蚀剂)含有挥发性有机溶剂，如醋酸丁酯，在晶片加工过程中也会挥发到大气中，是有机废气的另一个来源。 半导体工业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量的有机成分。在此过程中，这些有机溶剂大部分挥发到废气中。目前，吸附、焚烧或两种方法的组合通常用于这种气体排放。一般用沸石轮吸附，蓄热式焚烧炉焚烧。 焚烧也应用于半导体工业，处理各种有机废气，并通过热氧化将有机物质转化为CO2和水。同时焚烧也是一种处理废气的好方法，有稳定的流量和浓度。在热氧化中，有机废气流被加热，气相中的有机物被氧化。为了节省燃料的使用，通常使用热交换器来回收焚烧产生的热量，以预热输入的气体。这种方法通常用于处理大流量、低浓度的气体。因为半导体行业废气焚烧会产生SiO2，使催化剂钝化，所以接触氧化很少用于半导体行业。宁新环保成立后制造的RTO已稳定运行10年以上。广东旋转蓄热式焚烧炉RTO

蓄热式焚烧炉系统排放物一般会有氮氧化物的产生 一般有三种方式：热力型NOX:是空气中的氮在高温(1400以上)下的氧化；型快速NOX:是因为燃料挥发物中的天然CH自由基在高温下分解，与空气中的氮气反应生成HCN和N，然后进一步与氧气反应，以极快的速度生成NOX；燃料氮氧化物：是燃料中的含氮化合物在燃烧过程中氧化生成的天然氮氧化物，称为燃料氮氧化物。RTO NOx响应措施认真分析废气成分，确认废气成分中是否含有氮元素。如果含氮，需要计算。氮的含量已经对应于自然的NOx排放。类型NOX是由空气中的氧和挥发性有机化合物中氮的热解产物之间的反应产生的天然NOX。燃油中的氮并不是全部转化为NOX，有一个转化率。要降低这个转化率，控制NOX排放总量，燃烧的过量空气系数可以降低其排放值。浙江蓄热式焚烧炉维修处理风量范围为5000~200000Nm³/h。

在蓄热式焚烧炉系统中，对于废气风机的风量风压的选型，我们往往是先计算系统内管道压损、设备压损，作为风机的全压，风量则根据全厂的废气收集系统的废气流量进行计算，这样可以确定RTO系统引风机的全压和风量，当然在选择风机时，需要考虑1.05-1.2的余量，因为选定的风机在满负荷运行时全压和风量都要满足系统要求。不过国内一些风机厂家已经将此条因素考虑进去，并集成到选型软件中，您只需要输入环境条件和过程条件即可。宁新环保的RTO系统提供准确的设计方案。

那么如何确定风量和气压呢？需要根据相关行业的暖通规范来确定风速的上限或换气次数，然后根据污染源排放点的废气排放量和污染源空间的大小来确定废气流量，也就是我们所说的风机风量；其次，根据设备和管道的压力损失，确定风机的压力。这里，风扇的压力是多少？ 在蓄热式焚烧炉系统中，为了将有机废气(VOCs)引至r to控制界区，并将处理后的洁净空气输送至烟囱排放，需要克服整个系统管道和设备的压力损失，风机必须产生这些压力。风机的压力分为三种形式：静压、动压和总压。上面提到的克服供气阻力的压力称为静压，静压是气体作用在与气流平行的物体表面上的压力，通过垂直于其表面的孔测得。气体流动中所需的动能转化为压力，称为动压。 其实在RTO系统中，除了风扇的压力和风量，风扇的防爆是另一个重中之重。由于RTO是高温氧化装置，要处理的介质是易燃、易爆、有毒、有害的有机化合物，具有一定的危险性，因此风机的防爆成为基本的安全措施之一。设备在厂内就完成预组装。

洗涤塔采用循环水喷淋废气的方法除尘和吸收废气。其实质是利用废气的水溶性(H2SO4、HCL、NH3等。)，以水为基本介质，用适当比例的液体吸收剂处理的气体混合物，完成沉淀、冷却、凝聚、洗涤、中和、吸收、脱水等物理化学反应，从而净化气体。缺点是填料会造成堵塞，废水需要二次处理。一般在蓄热式焚烧炉系统中作为后处理或者前处理使用。 活性炭吸附设备因其工艺简单、吸附效果好、维护方便而应用于工业有机废气净化的终端处理。通过对活性炭的改性，可以专门用于吸附酸性、碱性、毒性等不同性质的废气处理。活性炭吸附因其应用范围广，符合环保法规要求，成为废气处理的宠儿。缺点是燃点低，风速低。 一般在蓄热式焚烧炉系统中用作后处理或者应急旁通。各部位均设置检修门便于检修。吉林旋转蓄热式焚烧炉价格

我公司的控制系统一般采用西门子的PLC可编程控制。广东旋转蓄热式焚烧炉RTO

将可燃气体检测仪的分析信号、压力信号接入蓄热式焚烧炉RTO的编程控制系统，正常投加相关逻辑，各程序具备控制阀的程控电气、气体信号，可燃气体浓度，用空气强制稀释或直接排放； 调整各参数的设定，使RTO处于自动运行状态。 制定符合企业实际生产情况的安全操作规程和运行管理制度，培训员工进行开、停及紧急状态的操作 做好检查记录，地线、道岔、断路器、酸(碱)处理单元、RTO公用工程等的检查、维护； 同时统一管理生产中的工作，避免各厂(工段)同时投料、同时蒸)精馏，含有机物废气集中排放，尽量保持废气浓度、气量相对稳定； 定期检查(标准)各传感器，如温度、压力、液位、pH计、可燃气体检测器等，确保RTO运行处于程序控制状态。 目前，由于RTO系统在运行使用中设计基础资料不完整，设计本身存在缺陷，程序控制主要集中在RTO主机上，不含可燃气体检测信号； 也有操作失误导致的火灾、爆燃等安全问题。 企业和RTO供应商在设计初期应做好基础资料的收集、确认、利用，提高RTO本身的安全设计水平，同时企业应加强对RTO的操作、维护、管理，及时消除风险，确保安全。广东旋转蓄热式焚烧炉RTO

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