伯努利机械手在真空卡盘上放取晶圆的系统和方法本**技术涉及半导体晶圆加工领域，特别是指一种伯努利机械手在真空卡盘上放取晶圆的系统和方法。技术介绍晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，是制造半导体芯片的基本材料，由于其形状为圆形，故称为晶圆。伯努利原理可以形象的表述为：在水流或气流里，如果速度小，压强就大，如果速度大，压强就小。伯努利机械手(吸盘)就是利用了伯努利原理的机械手，机械手的喷气口中喷出的气体(例如氮气等惰性气体)遇到圆盘的表面(例如上表面，当然也可以是下表面，以上表面为例陈述是示例性的)后，气体自圆盘上表面迅速扩散，使得圆盘上表面的气流速度大于下表面的气流速度，根据伯努利原理可知，此时圆盘下表面的气压大于圆盘上表面的气压，因而使圆盘被吸附在伯努利机械手上。在晶圆加工过程中，伯努利机械手通过伯努利原理吸附晶圆，把晶圆放在具有真空吸附功能的真空卡盘上后，机械手放开晶圆。同时真空卡盘通过多孔真空吸附把晶圆吸附到真空卡盘上。工艺结束后真空卡盘停止真空吸附，伯努利机械手吸附晶圆，把晶圆从真空卡盘上取下，并带出工艺腔室。欣诺真空泵：比机械式旋片泵能效高40%，重量轻、噪音低、易安装、寿命长。模块式组合，内装1~6根真空筒。西宁真空发生器厂家
真空发生器的性能与喷管的**小直径，收缩和扩散管的形状，通径及其相应位置和气源压力大小等诸多因素有关。①比较大吸入流量qv2max的特性分析：较为理想的真空发生器的qv2max特性，要求在常用供给压力范围，qv2max处于比较大值，且随着P01的变化平缓。②吸入口处压力Pv的特性分析：较为理想的真空发生器的Pv特性，要求在常用供给压力范围内(P01=0.4---0.5MPa)，Pv处于小值，且随着Pv1的变化平缓。③在吸入口处完全封闭的条件下，对特定条件下吸入口处压力Pv与吸入流量之间的关系。为获得较为理想的吸入口处压力与吸入流量的匹配关系，可设计成多级真空发生器串联组合在一起。④扩散管的长度应保证喷管出口的各种波系充分发展，使扩散管道出口截面上能获得近似的均匀流动。但管道过长，管壁摩擦损失增大。一般管道长为管径的6--10倍较为合理。为了减少能量损失，可在扩散管直管道的出口加一个扩张角为6°--8°的扩张段。TX真空发生器哪里买真空电磁阀通过交流或直流电源控制启闭，利用电磁原理，实现管路真空处理，主要用于真空管路联动控制系统。
提高真空发生器吸入流量的方法1、真空发生器分高真空型和高抽吸流量型，前者曲线斜率大，后者平坦。在喷管喉部直径一定的情况下，要获得高真空，必然降低抽吸流量，而为获得大吸入流量，必然增加其吸入口处压力。2、为增大真空发生器吸入流量，可采取设计多级扩大压管方式。如采取两个三级扩压管式真空发生器并联，如图所示，吸入流量将再增加一倍。结束语1、真空发生器是一种小巧而经济的真空产生元件，应用在有正压气源的地方，使真空回路极大简化。因此，有利于降低机器的制造成本，有利于提高机器的可靠性，有利于实现机械的高速化和自动化，具有广阔的应用前景。2、系统设计过程中，应综合考虑真空发生器的各种性能参数，选择与系统相匹配的性能指标.一般较佳的供气供给压力为：，吸入口处压力一般为：20kPa---10kPa。
由于真空吸附不是一定可靠的，因此有真空检测之后经常会发生真空度不够而报警，这样就影响设备的平均故障间隔时间（MeanTimeBetweenFailure，简称MTBF）和设备利用率（TechnologyAvailability，简称TA）。因此，在真空吸附的应用中，不能有真空度不足就立即报警，要连续三次不能完成吸附在报警，毕竟连续三次吸附不成功的情况是极少的。真空吸附应用中如果使用了带真空度检测功能的真空发生器，就可以利用这个功能进行检测真空发生器是否堵塞。真空吸盘有寿命限制，因此需要记录使用次数，有两个寿命参数设置，一个是报警寿命次数，一个是终止寿命次数。到达报警寿命次数后就提示更换真空吸盘，如果不更换累积到了终止寿命次数，设备就停机强制维护人员进行更换。负压，流量不大，但可控、可调，稳定可靠，瞬时开关特性好，无残余负压，同一输出口可正负压交替使用。
由流体力学可知，对于不可压缩空气气体(气体在低速进，可近似认为是不可压缩空气)的连续性方程A1v1=A2v2式中A1，A2----管道的截面面积，m2v1，v2----气流流速，m/s由上式可知，截面增大，流速减小；截面减小，流速增大。对于水平管路，按不可压缩空气的伯努里理想能量方程为P1+1/2ρv12=P2+1/2ρv22式中P1，P2----截面A1，A2处相应的压力，Pav1，v2----截面A1，A2处相应的流速，m/sρ----空气的密度，kg/m2由上式可知，流速增大，压力降低，当v2>>v1时，P1>>P2。当v2增加到一定值，P2将小于一个大气压力，即产生负压.故可用增大流速来获得负压，产生吸力。按喷管出口马赫数M1(出口流速与当地声速之比)分类，真空发生器可分为亚声速器管型(M1<1)，声速喷管型(M1=1)和超声速喷管型(M1>1).亚声速喷管和声速喷管都是收缩喷管，而超声速喷管型必须是先收缩后扩张形喷管(即Laval喷嘴).为了得到比较大吸入流量或比较高吸入口处压力，真空发生器都设计成超声速喷管型。乐清市欣诺气动有限公司，是专业开发、生产真空发生器的企业，也是目前国内生产多级真空发生器的企业。广州数显真空发生器
供给阀有效截面积S值，不宜小于喷嘴的几何面积的4倍，供气口的连接管内径，不宜小于喷嘴直径的4倍。西宁真空发生器厂家
真空发生器在满足使用要求的前提下应减小其耗气量(L/min)，耗气量与压缩空气的供给压力有关，压力越大，则真空发生器的耗气量越大。因此在确定吸入口处压力值的大小时要注意系统的供给压力与耗气量的关系，一般真空发生器所产生的吸入口处压力在20kPa到10kPa之间。此时供表压力再增加，吸入口处压力也不会再降低了，而耗气量却增加了。因此降低吸入口处压力应从控制流速方面考虑。有时由于工件的形状或材料的影响，很难获得较低的吸入口处压力，由于从吸盘边缘或通过工件吸入空气，而造成吸入口处压力升高。在这种情况下，就需要正确选择真空发生器的尺寸，使其能够补偿泄漏造成的吸入口处压力升高。由于很难知道泄漏时的有效截面积，可以通过一个简单的试验来确定泄漏造成的吸入口处压力升高。由于很难知道泄漏时的有效截面积，可以通过一个简单的试验来确定泄漏量。试验回路由工件，真空发生器，吸盘和真空表组成，由真空表的显示读数，再查真空发生器的性能曲线，可很容易知道泄漏量的大小。西宁真空发生器厂家
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