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真空检漏仪工作原理

来源: 发布时间:2023年07月03日

检漏仪的真空标漏有啥意义?检漏仪是常用的精密仪器,当然再精密的仪器也会有其使用寿命,在使用过程中,因使用工况、使用频率和质谱内离子源的老化,就会导致质谱分析存在偏差。为了确保漏率的准确性,检漏仪必须根据标准漏孔(已经校准过得到的准确值)来进行调节.操作:使用标准漏孔,给检漏仪校准,校准过后,检漏仪的误差就会消除。Tips:内部标准漏孔,建议至少每两年需要重新标定或进行更换。在检漏仪标准漏孔上一般会有标定值、生产日期等参数。内置标漏操作流程:1、在检漏仪待机状态下,打开检漏仪设置中的'定标设置;2、将标漏类型选择为内置;3、按照标漏上的漏率值,设定界面上的“标漏漏率”;4、点击'开始真空标漏',检漏仪就进入自动定标状态。使用中尽量将预置真空开关空挡可以有效延长检漏仪的灯丝寿命。真空检漏仪工作原理

检漏仪待机时电离室真空度保持在≤3x10-2Pa,灯丝不易被氧化脆断。在检漏过程中,当出现意外情况,系统突然暴露大气或真空度突然降低,导致大量的气体突然进入电离室,真空度≥1x10-1Pa时,灯丝电流急剧增大,灯丝被碳化,就发生了脆断现象。检漏仪灯丝寿命如何延长?由前面分析已知,造成检漏仪灯丝脆断的原因:1.真空度低;2.灯丝电流过大;3.对灯丝有害的气体气压太高(氧化性气体、水蒸气、氢气)。那么,在使用中尽量避免灯丝在上述恶劣环境下长时间开启,或者说尽量提高灯丝的上述使用条件就可以有效延长检漏仪的灯丝寿命。如:1.使用中尽量将预置真空开关空挡;2.避免电离室泄入有害气体(氧化性气体、水蒸气、氢气)。扬州推车式检漏设备检漏仪可以根据各种检测仪器的日常操作模式和应用情况进行分析。

检漏仪漏率校准数据处理:漏率示值误差,漏率的温度修正标准漏孔漏率易受温度变化影响,温度对标准漏孔漏率的影响一般为3%/℃,所以如果实际环境温度和标准漏孔证书中温度不一致,需要将标准漏孔证书中漏率和标准漏孔漏率的检漏仪示值修正至同一环境温度下来计算,并在测试结果中加以说明,修正方法如下:方法一:将标准漏孔证书中的漏率修正至实际环境温度下,用标准漏孔证书中的漏率加上或减去温度对标准漏孔漏率的影响系数计算值;方法二:将标准漏孔漏率的检漏仪示值平均值修正至标准漏孔证书中环境温度下,用标准漏孔漏率的检漏仪示值平均值加上或减去温度对标准漏孔漏率的影响系数计算值。此方法对检漏仪漏率部分进行校准,方法简单明了,便于实际应用,可操作性强,可以满足检漏仪漏率性能和使用要求,保证了检漏仪漏率量值准确可靠。

氦气检漏仪能为不同的需求提供不同的测量方法,检漏仪系统的检漏仪关键部件均为进口,性能稳定可靠。不但灵敏度高,而且操作方便,能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。此检测方法使用的示踪气体选择了氦气,氦气具有质量数小、重量轻并且有渗透能力强的优点,达到了细检漏的目的。检漏仪特点:1.检测时间和周期非常短,可以达到5s以内;2.检测的介质比较常用,只需压缩空气即可;3.不会受到主观因素判断的影响;4.检测的数据精确;5.自动生成数据保存,可追溯数据来源。检漏仪检测范围很宽,不但可检测氦气,还能检测其它气体。

检漏仪中使用防返油阀的目的:主要是防止机械泵中的油,在检漏仪停止工作时,从机械泵内返到检漏仪的阀座内,导致检漏仪无法正常使用。防返油通常是装配在机械泵的进气口,另一端与分子泵的排气口连接。在通电后,防返油阀内部打开,使分子泵排气口和机械泵进气口导通。气流沿分子泵进入机械泵。在断电后,防返油阀内部关闭,外界的空气沿阀内部的通道进入阀的出气口,使机械泵进气口达到大气压状态。从而防止机械泵油从进气口返出。优点:防返油阀,能够很好的避免因机械泵故障,导致返油到检漏仪阀座和分子泵的概率。能够更好的保护检漏仪。检漏仪在各个领域的应用有三种关键检漏方法,即正压吸口式、真空泵检漏、工作压力真空泵检漏。安徽氦气检漏仪工作原理

检漏仪正压检漏方法普遍应用于正压检漏和相对真空泵检漏两种方法。真空检漏仪工作原理

检漏仪使用的方法取决于检验件的结构、检漏的经济效益和检漏系统的性质。对于不同的目的,可以选择不同的检漏仪来完成漏检任务。便携式检漏仪可以快速找到泄漏点,成本高,适合批量操作;建议使用精度不低于1PPM和20PPM作为泄漏点。请注意,检漏仪应在无风条件下使用。氦质谱分析检漏仪在各个领域的应用有三种关键检漏方法,即正压吸口式、真空泵检漏、工作压力真空泵检漏。在高压容器空调制冷设备制造等领域,必须模拟具体工作条件进行检漏。正压检漏方法普遍应用于正压检漏和相对真空泵检漏两种方法。正压检漏方法有其独特性。正压方法系在容器或产品工件内,充满氦气,然后根据吸口在容器外部扫描仪进行高精度检漏。真空检漏仪工作原理

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