氦气检漏仪在锅炉检漏中的应用：氦质谱检漏的主要特点：①检漏仪的示踪气体通常选用氦气.因氦气在空气中的含量极少，只占约二十万分之一这样氦气的本底值就小有利于发现极微量的氦气；②氦分子小、质量轻、易扩散、易穿越漏孔.易于检测也易于清理；③氦离子荷质比小，易于进行质谱分析；④氦气是惰性气体化学性质稳定不会腐蚀和损伤任何设备：⑤氦气无毒，不凝结，极难容于水。与常规水压查漏相比，氦质谱检漏技术具有快速、准确、灵敏度高及无损伤性等方面的优点。采用水压查漏，现场实际操作复杂，对水质、水温、升压方式、升压设备等方面都有一定要求。而且在轻微泄漏时，漏点不容易被发现。在某些情况下，大面积拆除保温，从工期和费用等方面均值得考虑。通过检漏仪跟踪氦气浓度梯度变化，能够快速准确查找到被保温覆盖的焊缝微裂纹。检漏仪在火电厂中先在质谱室中将采集的被测气体电离，再利用电磁场将不同荷质比的离子加以分离检测。嘉兴国产检漏机
检漏仪检漏时出现的故障：1、不向细检方式转换，检漏口压力<2×10-4MPa：检查粗检指示灯是否亮，如果亮，说明检漏仪置于粗检方式。再按一下粗检开关切换到自动转换状态。2、灵敏度低。检查三极规所测压力，等到质谱室压力<10-6MPa时再检漏;如果压力达到，检查离子源是否被污染，清洗离子源。3、氦本底太高。检查机械泵油是否失效(泵油长期使用变质会吸附较多的氦气，导致氦污染)，检查仪器系统是否有漏，真空管路是否污染，检查三极规上压力是否达到10-6MPa，离子源是否污染。另外还要注意环境的污染问题，如果有多台检漏仪，且氦气的使用量较大，通风不好时，致使氦气扩散慢，也会导致氦污染。解决办法是在检漏口的放气阀放气口(通常通大气)处，安装一个几升容量的气瓶，该气瓶与低压氦气管路连接。这样，就大幅减少了环境的氦污染。嘉兴国产检漏机检漏仪中使用防返油阀主要是防止机械泵中的油。
氦质谱检漏仪的校准方法：1、标准漏孔校准氦质谱检漏仪方法，采用标准漏孔对氦质谱检漏仪进行校准，将一系列经过校准的不同量级标准漏孔分别接入氦质谱检漏仪系统，实验室温度保持在23±1℃，可以读出一组标准漏孔漏率的检漏仪示值，从而得到标准漏孔漏率值与检漏仪示值的关系曲线，并通过对这条曲线进行数学拟合，得到氦质谱检漏仪全量程测量范围示值与漏率值之间的拟合公式。2、校准仪器的选择，为了满足氦质谱检漏仪现场校准，便于携带，真空标准漏孔选用薄膜渗氦型标准漏孔。薄膜渗氦型标准漏孔具有对污染不敏感；漏率可以做得很小；重复性、稳定性等计量特性好；对温度变化敏感，使用需要对漏率温度修正等特点。
检漏仪的检漏原理：利用氦气是比氢气小的第二轻的惰性气体，氦气在自然状态下会向上垂直扩散，在被检测的管道中注入氦气。如果这些设备有漏点，那么我们就能通过监测仪器探测到有氦气在管道外部。这就是管道中氦气检漏的方法。对于一些高精尖的细小电子元件，氦气怎么检漏呢？将要检测的元件放入充满氦气的容器中并且加压。在压力的作用下，如果这些元件存在漏点，必然会有氦气通过 这些小孔进入到元件内部。使用压缩空气将元件表面的少量残留氦气吹扫干净之后，再利用质谱仪检测元件表面泄露的氦气。检漏仪检漏时切勿将大量的氦气通进仪器，避免本底太大，难以清理。
检漏仪分子泵故障如何维修？检查真空表是不是出现了问题，分子泵出口是否打开，机械泵油是否太脏，机械泵是否旋转，系统是否漏气。分子泵的叶片或转子也可能损坏。可以使用自己的工具移动刀片来判断它是否可以旋转。分子泵加速指示灯不亮。电路板上的保险丝被烧毁了。更换保险丝或检查是否有短路。氦泄漏检测仪的灯丝不能正常启动。在确认机械泵和分子泵处于正常工作状态后，如果灯丝仍不能发射离子流，则需要更换离子源。如果灯丝指示灯闪烁，请检查航空插座和离子源端子是否开启。如果开路，请更换灯丝。如果没有，请检查端子是否与其他连接器连接，以消除短路。检漏仪在使用前需要采用标准氦校准漏孔进行校准，该标准漏孔必须经过计量校准过的。铜陵真空氦气检漏设备
检漏仪待机时电离室真空度保持在≤3x10-2Pa，灯丝不易被氧化脆断。嘉兴国产检漏机
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