氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了普遍应用。氦检仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进人磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是氦检仪在电阻炉检漏中较常用的两种方法。高灵敏度氦检仪的噪声来源大体上可以分为两种，一个是离子流接收放大机输出电路的噪声，另一个是本底噪声。模块式氦检仪费用
氦检仪产生测量误差主要包括哪几个方面？第1，当氦质谱泄漏检测器校准灵敏度时，标准泄漏的位置与检测泄漏的位置不同，即标准泄漏与检测泄漏检测器之间的距离太大，在途中泄漏氦的损失不相等，导致进入检测泄漏检测器的氦量可比性差。第二，进入被检漏孔和标准漏孔的氦气压力或分压比不相等，或者不能准确地给出氦气压力和分压比的数值而导致无法换算，这时也会产生漏率测量误差。第三，所用标准漏孔的标称漏率有误差。第四，氦检仪输出指示与漏率的线性关系差。第五，校准灵敏度或用比较法确定漏孔漏率时，所用标准漏孔与被检漏孔的气流特性不同。第六，氦检仪的性能不稳定。第七，氦气纯度不稳定或存在误差。分体式氦检设备价钱氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局。
氦检仪应用领域：工业：真空炉、镀膜系统、压力容器、超高真空工程。高能物理：加速器、束线、同步辐射光源。科研领域：空间模拟系统、试验装置、微电子、表面分析系统。半导体及电子：工艺设备、气路、气路传输设备、电子元器件、封装。汽车制冷：蒸发器、空调、管路。核工业：核电阀门、核容器。航空航天：空间模拟器、航天器、管路。电厂：管道、蒸汽发生器、热交换器、冷凝器。氦检仪是对密封容器的泄漏进行快速定位和定量测量的仪器。氦质谱检漏方法与气泡识别法、压强衰减法和卤素检漏等方法相比，具有检测灵敏度高、速度快和适用范围宽，此外氦检仪选择无毒、无破坏性、质量轻的惰性气体氦作为探索气体，所以安全可靠。
影响氦检仪灵敏度的因素有哪些？氦检仪检漏时，产生测量误差的主要来源主要包括8个方面：第1，氦检仪在校准灵敏度时，标准漏孔所在的位置与被检漏孔的位置不同，即，标准漏孔与被检漏孔至氦检仪的距离相差太大，漏入氦气在途中损失不相等，这会导致经二者进入氦检仪的氦气量可比性差。第二，进入被检漏孔和标准漏孔的氦气压力或分压比不相等，或者不能准确地给出氦气压力和分压比的数值而导致无法换算，这时也会产生漏率测量误差。第三，所用标准漏孔的标称漏率有误差。第四，氦检仪输出指示与漏率的线性关系差。第五，校准灵敏度或用比较法确定漏孔漏率时，所用标准漏孔与被检漏孔的气流特性不同。第六，氦检仪的性能不稳定。第七，氦气纯度不稳定或存在误差。第八，之后也就是检漏操作人员的因素，包括素质、责任心、技术水平以及工作经验等。氦检仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度高，用得普遍的氦检仪器。氦质谱检漏仪的本底噪声，一般指在2min内输出仪表的较大的波动量，能较方便地估计检漏效果。
氦检仪中没有手动阀，现已采用自控阀自动调节运转时的误差。同时用涡轮分子泵取代了油扩散泵,以消除可能造成的油返流。计算机技术也在氦检仪中获得应用。运转、控制和输出数据均由计算机自动操作完成。典型的示波器已由阴端射线管显像屏所代替。整个操作只须按各种按钮自动进行。氦检仪现在已经渗透到航空航天、新能源、电子器件、阀门、电力、核电、制冷、家电等行业。氦检仪在未来的岁月中还将在许多的工业领域中得到新的应用。氦检仪质量范围很宽，不只可检测氦气，而且能检测其它气体。分子泵排气系统取代扩散泵排气系统，不只解决了油蒸气对质谱室的污染问题，而且对快速启动仪器和快速停机做出了很大贡献。专业用于电厂检漏的氦检仪关键部件均为进口，性能稳定可靠。自动氦检仪售后服务
氦检仪能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。模块式氦检仪费用
氦检仪分子泵出现故障如何快速定位维修？1.TMP(分子泵工作频率)在仪器的显示界面提示为0，即为分子泵不工作。可能是前级压力过高(分子泵启动压力为200Pa)导致分子泵不能正常启动。2.检查真空表是不是出现了问题，分子泵出口是否打开，机械泵油是否太脏，机械泵是否旋转，系统是否漏气。分子泵的叶片或转子也可能损坏。您可以使用自己的工具移动刀片来判断它是否可以旋转。分子泵加速指示灯不亮。电路板上的保险丝被烧毁了。更换保险丝或检查是否有短路。3.分子泵故障灯亮。检查电路板设置开关是否在R位置，此时应在N位置。检查风扇是否停止。如果风扇正常，可能是分子泵电源故障。请联系制造商。4.氦泄漏检测仪的灯丝不能正常启动。在确认机械泵和分子泵处于正常工作状态后，如果灯丝仍不能发射离子流，则需要更换离子源。如果灯丝指示灯闪烁，请检查航空插座和离子源端子是否开启。如果开路，请更换灯丝。如果没有，请检查端子是否与其他连接器连接，以消除短路。模块式氦检仪费用
上海妤林真空设备技术有限公司在氦气检漏仪，氦气回收系统，检漏仪，氦检仪一直在同行业中处于较强地位，无论是产品还是服务，其高水平的能力始终贯穿于其中。公司成立于2020-06-11，旗下妤林，已经具有一定的业内水平。上海妤林真空致力于构建仪器仪表自主创新的竞争力，将凭借高精尖的系列产品与解决方案，加速推进全国仪器仪表产品竞争力的发展。