氦检仪用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散;另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到只对氦气反应的工作状态)的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。影响氦检仪灵敏度的因素包括实际检测条件、辅助真空系统以及操作人员的技术等多方面。当发现氦检仪的灵敏度降低，而氦检仪的工作真空度状态良好，放大器的各级工作电压也符合标准要求，就基本上可以确定氦检仪灵敏度降低的问题来源于离子源的质谱分析管受到了严重污染。氦检仪为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。镇江氦检仪价钱
氦检仪现已普遍应用于半导体设备检漏。半导体设备及材料需要检漏原因：1、半导体设备要求高真空，比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间，耗时耗力；2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染，对半导体的特性改变并破坏其性能，因此在半导体器件生产过程中必须进行氦质谱检漏；3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体，经过氦质谱检漏后，在低漏率真空条件下，这些气体不易外泄，设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物，保障工作人员安全和大气环境。4、芯片封装，一旦出现泄漏，芯片就会失效。综上所述，氦检仪在半导体行业起着至关重要的作用。上海氦检仪销售价格氦质谱检漏仪在运行过程中不能移动。
氦检仪中没有手动阀，现已采用自控阀自动调节运转时的误差。同时用涡轮分子泵取代了油扩散泵,以消除可能造成的油返流。计算机技术也在氦检仪中获得应用。运转、控制和输出数据均由计算机自动操作完成。典型的示波器已由阴端射线管显像屏所代替。整个操作只须按各种按钮自动进行。氦检仪现在已经渗透到航空航天、新能源、电子器件、阀门、电力、核电、制冷、家电等行业。氦检仪在未来的岁月中还将在许多的工业领域中得到新的应用。氦检仪质量范围很宽，不只可检测氦气，而且能检测其它气体。分子泵排气系统取代扩散泵排气系统，不只解决了油蒸气对质谱室的污染问题，而且对快速启动仪器和快速停机做出了很大贡献。
氦质谱检漏仪的灵敏度，通常指仪器的可检漏率。记为qL.min，即在仪器处于较佳工作条件下，以一个大气压的纯氦气为示漏气体，进行动态检漏时所能检测出的漏孔漏率。所谓“较佳工作条件”是指仪器参数调整到稳定值，被检件出气少且没有大漏孔等条件。所谓“动态检漏”是指检漏仪器本身的抽气系统仍在正常抽气。仪器的反应时间不大于3s。所谓“可检率”是指检漏讯号为仪器本底噪声的两倍时，才能认定有漏气讯号输出。所谓“漏孔漏率”是指一个大气压的干燥空气通过漏孔漏向真空侧的漏气速率。仪器本底噪声，一般指在2min内输出仪表的较大的波动量，能较方便地估计检漏效果。氦质谱检漏仪是根据被检工件的不同它所使用的检漏方法也是不同的。
氦检仪有漏率灵敏度参数，它是仪器在出厂时经过校准的在较佳条件下所能实现的仪器灵敏度，但平常实际使用时其灵敏度是低于该参数的，称之为检漏灵敏度。然后在具体检漏过程中，氦检仪的检漏方法也较多，有喷吹法、氦罩法、检漏盒法、充压法、吸嘴法、累积检漏法、背压法、选择性抽气法、逆流氦检漏法等众多形式，可结合实际情况灵活运用。如较简单常用的喷吹法，与卤素氦检仪的真空法类似，将被检件抽真空，调整好氦检仪并与被检件连通，随后用喷头在可疑处喷吹氦气，如果存在漏洞，喷吹一定时间后，氦检仪即可发出信号。氦质谱检漏仪的电流相同，漏率可能不同；或漏率不同，电流相同。淮安氦检仪检修
氦检仪普遍应用于压力容器、航空航天、原子能、发电厂、制冷工业等领域。镇江氦检仪价钱
便携式氦质谱检漏仪的明显优点：1、性价比高：便携式氦质谱检漏仪是一款实用的检漏仪，可覆盖广大的应用领域，竞争性的价格及较低的使用成本，大抽速前级泵的设计，可缩短抽气时间，提高使用效率；2、自我保护功能：在突然暴露大气和突然断电时具有保护功能，系统的逆扩散设计保护了质谱室的清洁、真空，且不需要液氮；3、结构灵活：可采用主机与前级泵单独采买，前级泵可使用油封式旋片泵或涡卷式干泵，对于便携式氦质谱检漏仪，既可选择带有连接配件的主机形式，也可选择安装在两轮小车上的整体形式。镇江氦检仪价钱
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