氦质谱仪的泄漏检测方法通常有两种，一种是常规泄漏检测，另一种是反向扩散泄漏检测。反向扩散泄漏检测是将测试件连接到分子泵出气口的末端，并且泄漏的氦气从分子泵出气口进入安装在泵进气口的质谱仪管中，方向相反。泵排气。这种泄漏检测方法基于以下事实：分子泵对不同的气体质量具有不同的压缩率（分子泵出口处的气压与入口处的压力之比），即不同气体的反向扩散。反向扩散法检漏可以使试件的内部压力更高。氦质谱仪检漏仪可达到300Pa（通常传统检漏仪小于0.05Pa），适用于检测大型容器或泄漏较大的设备。泄漏。反向扩散法还具有不易污染质谱仪管且灯丝寿命长的优点。氦质谱检漏仪捡漏方法基本上可分为用氦气内部加压法和设备内部抽真空外部施氦这两种。杭州真空氦质谱检漏仪
氦质谱检漏仪主要性能指标试验方法：灵敏度、反应时间、清理时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速是评价氦质谱检漏仪的主要性能指标。反应时间、清理时间及其测定：反应时间是指仪器节流阀完全开启，本底讯号为零（或补偿到零）时，由恒定的氦流量使输仪表讯号上升到值的（1-e-1）倍（即O.63）所需要的时间，记为τR。清理时间是指输出仪表讯号稳定到值后，停止送氦，其讯号下降到值的e-1倍（即O.37）所需要的时间，记为τC。工作真空、极限真空及入口处抽速，质谱室极限真空，尤其是工作真空及入口处抽速是表征仪器性能的重要参数。利用检漏仪的真空规可以测定仪器的极限真空和工作真空。利用流量计可测定仪器入口处抽速。浙江自动氦质谱检漏仪报价氦质谱检漏仪灵敏度降低可以先用细的高标号金相砂纸小心细致地擦洗分析管道的内表面及离子源各电极部件。
氦质谱检漏仪技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了普遍应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进入室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中较常用的两种方法。
氦质谱检漏仪正压法原理：采用正压法检漏时，需对被检产品内部密封室充入高于一个大气压力的氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通孔漏孔进入被检外表面的周围大气环境中，再采用吸口的方式检测被检产品周围大气环境中的氦气浓度增量，从而实现被检产品泄漏测量。按照收集氦气方式的不同，又可以将正压法分为正压吸口法和正压累积法。其中正压吸口法采用检漏仪吸口对被检产品外表面进行扫描探查，可以实现漏孔的精确定位; 正压累积法采用有一定密闭功能的氦罩将被检产品全部罩起来，采用检漏仪吸口测量一定时间段前后的氦罩内氦气浓度变化量，实现被检产品总漏率的精确测量。正压法的优点是不需要辅助的真空系统，可以精确定位，实现任何工作压力下的检测。氦质谱检漏仪检测时间和响应周期非常短，可以达到2s以内。
氦质谱检漏仪背压法检漏压氦和清氦的说明：1.将工件放入压氦罐内，确认罐内清洁干净。2.待工件放置好后，将压氦罐的盖放置到压氦罐上，用螺钉固定牢靠。3.再将压氦罐球阀接口与氦气瓶连接。4.确认连接OK后，先将压氦罐的球阀打开，再开启氦气瓶的减压阀，控制检验阀的出气压力，待压氦罐上的压力表指示到规定的压力后，关闭压氦罐的球阀，再关闭氦气瓶的阀和减压阀。5.断开气瓶与压氦罐的管路，（注意：管路内还有压力）将压氦罐放置到安全区域保压规定时间。6.保压时间到后，将压氦罐内地氦气放至外界大气中或使用氦气袋回收。7.将固定压氦罐盖的螺钉拆卸下来，再将罐盖打开。8.取出工件，使用空气或氮气将工件表面残留的氦气清理。9.放置好工件待用。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。安徽真空氦质谱检漏仪单位
氦质谱仪检漏仪通常用于电子组件的背压检测。杭州真空氦质谱检漏仪
氦质谱检漏仪应该如何选择？1、仪器的功能能满足检漏的要求。如有些仪器没有逆流检漏功能，就不适合吸口法检漏；有些仪器没有报废漏率的设置功能，不宜作为批量产品筛选检漏用；流水线上要求一定的检漏速度，此时应选择有双工位的检漏仪。2、仪器的灵敏度能满足检漏的要求。国内外生产的不同类型的氦质谱检漏仪的灵敏度是不一样的，如果检漏要求的灵敏度较高，就要认真选择。3、被检件如果害怕油的污染，就应选择无油真空系统的检漏仪。4、被检件容积如果较大，必须选用抽泵抽速大的检漏仪，否则就要外加预抽泵。5、如果被检对对象不固定，体积时大时小，灵敏度要求时高时低时，就要选择功能较全、灵敏度较高、检漏范围宽的检漏仪。6、如果检漏地点不固定，需要经常搬运仪器时，就要选择小型便携式仪器。7、在满足上述检漏基本要求的基础上，还要综合考虑仪器的价格是否低、操作是否简易、维修是否方便等方面的问题。杭州真空氦质谱检漏仪
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