宣城密封检漏仪

氦质谱检漏仪进入质谱室氦气分子的比例（分流比），还有电气参数的不同，电流相同，漏率可能不同；或漏率不同，电流相同；所有检漏仪本身并不知道放大后的电流对应的漏率是多少，需要参照物，这个参照物就是标准漏孔。而在对应的氦离子运动半径位置的档板上开一狭缝，狭缝后安置离子接收极，这样的只有氦离子才能通过狭缝而被接收极接收形成氦离子流，并经放大器放大后由测量仪表指示出来。检漏时，如果用氦气喷吹漏孔，氦气便通过漏孔进入检漏仪的质谱室中，使检漏仪的测量仪表立即灵敏地反应出来，达到了检漏的目的。氦质谱检漏仪的灵敏度很高，可以检出很小的漏孔。宣城密封检漏仪

检漏仪为什么选择氦气作为示踪气体？1. 氦在空气中及真空系统残余气体中的含量极少 (在空气中约含5.2ppm), 在材料出气中也很少, 因此本底压力小, 输出的本底电流也小. 正因为本底小, 由某些原因引起本底的波动, 亦即本底噪声也就小,因此微小漏率也就能反应出来.灵敏度高.2. 氦的质量小 (相对分子质量为4) , 易于穿过漏孔. 这样, 氦较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大, 容易发现, 灵敏度高.3. 氦是惰性气体, 不与被检件器壁起化学反应, 不会污染被检件, 使用安全.4. 在氦两侧的是氢 (质荷比为2) 和双电荷原子碳 (质荷比为6) , 质荷比都与氦相差较大. 这样, 它们在分析器中的偏转半径相差也大, 容易分开. 定标找氦峰时, 不易受其他离子的干扰, 因此就降低了对分析器制造精度的要求, 易于加工. 同时, 分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大, 使更多的氦离子通过, 提高了仪器灵敏度。南通智能检漏机检漏仪使用的方法取决于检验件的结构、检漏的经济效益和检漏系统的性质。

检漏仪启动流程：1、将总电源转到“前级泵”，低真空表头指示值应从左向右逐渐上升至2~15Pa，开抽速阀，开漏孔开关，表头示值也应能抽到原来位置，再关抽速阀。2、将总电源转到“扩散泵”，灯亮，扩散泵开始加热。3、等20分钟左右，扩散泵排气管应热，开冷规开关，“质谱室压强”表头指针应从左打向右(即冷规已激发)再关冷规。4、开抽速阀，过几分钟后开冷规，表头指针应从左打向右，再从右向左逐渐上升(真空示值在1×10-2Pa以下请不要长时间开冷规，可等一会儿再开)，当真空示值超过1×10-2Pa后，可启动灯丝，灯亮，“发射电流”有指示，开、关漏孔检查检漏仪灵敏度(可调加速电压使信号指示Zda)，灵敏度达要求后关漏孔。5、将工件用外接泵抽上真空后，开节流阀至冷规指示值为5×10-3~1×10-2Pa之间，对工件喷氦检漏。检漏完，关节流阀。

使用检漏仪必须注意以下几点：第1，不要随意拔出配管：检漏仪处于加压状态，禁止拔出连接仪器和减压阀之间的配管接头。不然大量的压缩空气被吹出，会对人体有害。不得挤压：不得踩仪器或坐在仪器上，不得将其它物品放置在仪器上。第二，一般情况下，真空检漏时要重点关注以下部位：(1)法兰接口部位；(2)焊接部位；(3)波纹管部位；(4)其他密封部位。第三，(1)对工件喷氦应按以下顺序进行：①从上往下。②从靠近测试口到远离测试口。(2)喷氦时应经常检查喷口口是否有氦气喷出。(3)检完工件，必须将“节流阀”关闭，才能取工件。(4)对同一工件，如有两处以上漏点，应排除Zda的漏点后，再对其它地方检漏。(5)装工件时应使连接处密封好，不能有漏。氦质谱检漏仪以其高灵敏度和准确性而通常应用于整体防漏等级较高的压力容器上。

检漏仪有测量误差的原因：第1，当检漏仪的校准灵敏度时，标准泄漏的位置不同于被检测泄漏的位置，即标准泄漏与被检测泄漏到检漏仪之间的距离太大，在途中泄漏的氦损失不相等，导致两者进入检漏仪的氦可比性差。第二，氦压或分压比不等于被检漏孔和标准漏孔，或氦压力和分压比值不能准确给出，导致无法转换，也会产生漏率测量误差。第三，标准漏孔的标称漏率存在误差。第四，检漏仪输出指示与漏率线性关系差。第五，当校准灵敏度或通过比较法确定泄漏率时，标准泄漏的气流特性不同于检测到的泄漏。检漏仪应在无风条件下使用。南通智能检漏机

造成检漏仪灯丝脆断的原因是真空度低或者灯丝电流过大。宣城密封检漏仪

氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。此检测方法使用的示踪气体选择了氦气，氦气具有质量数小重量轻并且有渗透能力强的优点，达到了细检漏的目的。氦质谱检漏仪是根据被检工件的不同它所使用的检漏方法也是不同的。对产品检漏前首先要对工件的结构和制造工业有所了解，了解有哪些漏源，才能快，准，狠的完成检漏。需要进行前级真空泵的定期换油及深度保养，以及电磁阀组的超声清洗，此外质谱模块组件的超声清洗以及分子泵也建议定期进行保养维护，避免因设备保养不及时导致设备使用寿命缩短。宣城密封检漏仪

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