氦质谱检漏仪是根据质谱仪学原理，用氦气作为搜索气体制成的气密性检测仪器。氦质谱检漏仪电源电压220V频率50HZ额定功率2000W。仪器应安装在符合仪器使用的环境要求的场所，特别是仪器的电源插座，应符合要求，要有良好的地线，左右要留有30CM的通风间距。放置好氦质谱检漏仪，以避免仪器有倾斜或倾倒的危险。氦质谱检漏仪的底部有安装孔，可以将其固定在桌子或支架上。在仪器运行前要确保真空泵中的机械泵油是否足够，机械泵油必须用特定的针对机械泵型号的油。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。江苏氦气检测仪
选择氦质谱检漏仪时主要考虑以下问题：1、仪器的功能能满足检漏的要求。如有些仪器没有逆流检漏功能，就不适合检漏；有些仪器没有报废漏率的设置功能，不宜作为批量产品筛选检漏用；流水线上要求一定的检漏速度，此时应选择有双工位的检漏仪。2、仪器的灵敏度能满足检漏的要求。国内外生产的不同类型的氦质谱检漏仪的灵敏度是不一样的，如果检漏要求的灵敏度较高，就要认真选择。3、被检件如果害怕油的污染，就应选择无油真空系统的检漏仪。4、被检件容积如果较大，必须选用抽泵抽速大的检漏仪，否则就要外加预抽泵。国产氦气检测仪工作原理氦质谱检漏仪的质谱模块组件的超声清洗以及分子泵的要定期保养维护。
氮质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点，是真空检漏技术中灵敏度较高，用得比较多的检漏仪器。适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局，被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位，因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点.适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏，其灵敏度可达10-12Pam3/s。氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。
氦质谱检漏仪如何选择检漏方式，与检测对象的工作环境有很大关系，尽量做到与检测对象的工作状态一致。如检测对象工作时内部处于正压，则用正压模式，如检测对象工作时内部处于负压，则用真空模式。氦质谱检漏仪以其高灵敏度和准确性而通常应用于整体防漏等级较高的压力容器上。影响氦质谱检漏仪灵敏度的因素包括实际检测条件、辅助真空系统以及操作人员的技术等多方面。选购氦质谱检漏仪时不要盲目地认为价格高是好的，低的价格时不好的，要选择适合自己的产品。这样选择出来的产品，才会更加的符合我们的使用情况。氦质谱检漏仪的灵敏度，通常指仪器的可检漏率。
氦质谱检漏仪性能试验方法：1、反应时间、消除时间及其测定，反应时间是指仪器节流阀完全开启，本底讯号为零(或补偿到零)时，由恒定的氦流量使输仪表讯号上升到值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的时间，记为τR。消除时间是指输出仪表讯号稳定到固定值后，停止送氦，其讯号下降到值的e-1倍(即O.37)所需要的时间，记为τC。2、工作真空、极限真空及入口处抽速，质谱室极限真空，尤其是工作真空及入口处抽速是表征仪器性能的重要参数。利用氦质谱检漏仪的真空规可以测定仪器的极限真空和工作真空。利用流量计可测定仪器入口处抽速。氦质谱检漏仪为什么会选择氦气作为主要的示漏气体？国产氦气检测仪工作原理
利用氦质谱检漏仪的真空规可以测定仪器的极限真空和工作真空。江苏氦气检测仪
氦质谱检漏仪在使用过程中需特别注意以下几点：①使用的电源电压要在额定的电压范围之内，电压过低仪器启动困难，且性能不稳定，电压过高会烧坏电源，严重时还会烧毁母板的电路板和分子泵，应连接稳压电源(UPS)。②仪器在运行过程中不能移动。涡轮分子泵处于高速运转中，若搬动检漏仪，容易使分子泵内的叶片与转子的筒体相碰撞。③氦质谱检漏仪应按照说明书的要求定期进行保养，保养的项目有更换机械泵油、更换过滤网、更换过滤器。灵敏度、反应时间、消除时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速是评价氦质谱检漏仪的主要性能指标。江苏氦气检测仪
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