氦质谱检漏仪（HeliumMassSpectrometerLeakDetector）为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到只对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。性能稳定可靠。不但灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。氦质谱检漏仪是真空检漏技术中灵敏度较高，用得比较普遍的检漏仪器。江苏移动式氦质谱检漏仪售后服务
选择氦质谱检漏仪时主要考虑以下问题：（1）如果被检对象不固定，体积时大时小，灵敏度要求时高时低，就要选择功能较全、灵敏度较高、检漏范围宽的检漏仪。（2）如果检漏地点不固定，需要经常搬运仪器时，就要选择小型便携式仪器。（3）在满足上述检漏基本要求的基础上，还要综合考虑仪器的价格是否低、操作是否简易、维修是否方便等方面的问题。使用时，注意观察仪器的运行情况，一旦发现问题（如较大振动、高噪音等），仪器在运行过程中不能移动。涡轮分子泵处于高速运转中，若搬动检漏仪，容易使分子泵内的叶片与转子的筒体相碰撞。马上切断电源，并排除故障。苏州便携式氦质谱检漏仪工作原理氦质谱检漏仪，顾名思义一般都会采用氦气作为主要的示漏气体。
氦质谱检漏仪常见的故障和处理：1、内部的泄漏，当检漏仪内部存在泄漏时，会对检漏工作造成较大干扰，容易造成误检、误判。各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的橡胶圈密封。采用喷氦法寻找漏点，更换密封件。2、本底信号不稳定，1）本底信号过高有可能是环境本底被污染，注意检查室内是否有氦气源在泄漏，将室内的门窗打开通风，降低环境本底。2）本底信号过高也有可能是因为质谱室被污染。检漏仪若经常检测含有油污、粉尘等杂质较多的被检件时，质谱室极易被污染，需返厂进行清洗，本底信号不稳定，检查电源电压是否稳定，检漏仪应有可靠的接地。
氦质谱检漏仪是一款进行检漏检测的设备，通过利用氦气或者氢气作示漏气体，通过以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。在工业生产也实验研究过程中有着较普遍的应用。因为氦气的本底噪声低，其分子量及粘滞系数较小，所以当设备存在漏孔时，氦气较容易通过漏孔并扩散出去。此外，由于氦系惰性气体，不会对设备产生额外腐蚀损坏，所以一般进行相关检测分析时，常用氦作示漏气体。通过将这种气体喷到接有气体分析仪，调节气体分析仪到只对氦气反应的工作状态的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。与其他设备仪器相同，定期对氦质谱检漏仪进行保养能够较好地延长设备的使用寿命，保证设备的可靠性。氦质谱检漏仪需根据设备的使用频率、被测品工艺要求定期使用标准漏孔对设备自身进行校准。
氦质谱检漏仪是由离子源、分析器、收集器、冷阴极离子仪等组成的质谱室、抽气系统及电气部分等组成。氦质谱检漏仪是一种用氦气作为示漏气体进行泄漏检测的特定仪器，具有性能稳定、灵敏度高等特点。在真空检漏技术中，采用的是通用型检漏仪器，具有较高的灵敏度。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。此检测方法使用的示踪气体选择了氦气，氦气具有质量数小重量轻并且有渗透能力强的优点，达到了细检漏的目的。氦质谱检漏仪特点：1.检测时间和周期非常短，可以达到5s以内；2.检测的介质比较常用，只需压缩空气即可；3.不会受到主观因素判断的影响；4.检测的数据精确。氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。江苏移动式氦质谱检漏仪售后服务
氦质谱检漏仪是基于质谱法原理，以氦气作为检漏仪器。江苏移动式氦质谱检漏仪售后服务
氦质谱检漏仪可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。5.检漏范围宽：现今生产的检漏仪，质量范围很宽，不但可检测氦气，而且能检测其它气体。在获得氦气信号值的基础上，通过标准的泄漏量比较，可以得到氦气的泄漏量。氮质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器。氦气喷射法和氦气吸收法是电阻炉氦质谱检漏仪常用的两种检漏方法。氦质谱检漏仪具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度较高，用得比较普遍的检漏仪器。江苏移动式氦质谱检漏仪售后服务
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