天津CPS高精度纳米粒度分析仪

CMP(化学机械抛光)工艺中磨料颗粒的高精度粒径表征随着半导体工业飞速发展，电子器件尺寸缩小，要求晶片表面平整度达到纳米级。CMP工艺作为芯片制造业不可或缺的一个部分，其对于磨料的颗粒粒度表征要求十分重要。CMP过程中使用的磨料颗粒典型尺寸范围是10-200nm，其颗粒表征要求精确地确定纳米级颗粒的尺寸，因此高分辨率纳米粒度分析仪是磨料颗粒表征的完美解决方案。磨料对CMP工艺起着至关重要的作用！欢迎选用CPS纳米粒度分析仪为您完美解决磨料颗粒问题！驰光提供周到的解决方案，满足客户不同的服务需要。天津CPS高精度纳米粒度分析仪

升降台式样品池送进定位及环境光遮蔽系统，使光子相关谱探测系统不只体积小，而且具有很强的抗干扰能力。高精度的测试温度控制系统：单独的循环温控槽可在2-95℃范围内任意设定，其控制精度达0.1℃。微量样品池/标准样品池：可以使用3.5ML的标准样品池外，还有适应于稀有贵重样品的0.3ML微样池。环境温度：在5-35℃的环境中，本仪器都能正常使用。纳米粒度仪样品池恒温箱及恒温DI水供应系统：有利于提高测试温度控制精度同时减少等待样品池热平衡的时间，提高仪器的实际测试精度和工作效率。湖南高纯度氧化铝粉粒度在线分析仪驰光机电倾城服务，确保质量无后顾之忧。

UHR型可达1%，良好性能：CPS高精度纳米粒度分析仪能够提供高分辨率准确的分析结果，即使对于使用其它分析方法非常难分析的样品，CPS依然能够提供满意的分析结果。高分辨率：CPS具有强大的分辨率，粒径差别在2%以内的窄峰可以被完全分辨出来。所示样品包含五种不同的聚苯乙烯标定颗粒，在图中可以清楚地看到它们完全被分辨出来呈现为五个单独的粒度峰。高准确度：可追溯&校准到NIST标准颗粒的可靠、重复性结果。高精度：与SEM/显微镜分析结果的对比。

使用CPS分析仪平行测定3次高纯氧化铝粉得到的叠加图，表明仪器的重复性较好，样品的粒径为0.586微米。分析氧化铝粉末时，为防止样品发生凝聚，需要添加入少量的乙酸。氧化锌ZnO粉末：氧化锌俗称锌白，是锌的一种氧化物。氧化锌是一种常用的化学添加剂，大量地应用于塑料、硅酸盐制品、合成橡胶、润滑油、油漆涂料、药膏、粘合剂、食品、电池、阻燃剂等产品的制作中。氧化锌的能带隙和激子束缚能较大，透明度高，有优良的常温发光性能，在半导体领域的液晶显示器、薄膜晶体管、发光二极管等产品中均有应用。驰光是多层次的团体与管理模式。

为了提高粒径的测量精度，需要较高的圆盘转速，目前市面上常见的运行速度较高在15000RPM，而国内在1500RPM，无法满足CPM化学机械抛光的需求。CPS-24000纳米粒度仪的最高转速为24000转，测试范围在5nm-75um，每次加样只需要0.1ml，降低样液的测试成本，可连续测量多达40个样品。CPS纳米粒度分析仪的使用方法已经列入国标，包括《金属粉末粒度分布的测量-重力沉淀光透法》、《煤矿粉尘粒度分布测定方法》、《橡胶配合剂-炭黑-聚集体尺寸的测定-使用光跟踪盘式离心沉淀仪法》等。驰光机电始终以适应和促进工业发展为宗旨。天津CPS高精度纳米粒度分析仪

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激光检测器同时检测颗粒对光的散射程度，根据米氏散射理论，得出不同尺寸颗粒的相对含量，从而得到颗粒粒径的分布曲线。主要参数：测量范围：0.005-75μm，光源：405nmLED，旋转速度：12.000RPM、18.000RPM、24.000RPM，标准分析圆盘：CR-39聚合物（耐有机溶剂和水溶液），可选 配：低密度样品分析扩展、变速圆盘；自动密度梯度液生成器（型号AG300）；自动进样器（型号AS200）；标定用标准颗粒。半导体CMP用抛光垫、清洗液、修整盘、抛光液、纳米研磨粒子以及OLED显示光敏聚酰亚胺、封装墨水、低温光阻材料等20余款“卡脖子”材料。天津CPS高精度纳米粒度分析仪

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