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来源: 发布时间:2022年08月02日

在介电层220以及心轴图案231、232和233的上方设置间隔层260。间隔层260包括与介电层220和心轴图案231、232和233不同的一种或更多种材料,使得间隔层260针对蚀刻工艺具有不同的蚀刻选择性。可以通过cvd工艺、pvd工艺、原子层沉积(ald)工艺或其他合适的沉积技术形成间隔层260。参照图4e,针对间隔层260执行蚀刻工艺,因此定义侧壁间隔件261至266。侧壁间隔件261(类似地,262至266)在此可以称为第二心轴图案。如图4e中所示,心轴图案231在蚀刻之前存在。图4f中示出蚀刻掉心轴图案231后的结果(例如,侧壁间隔件261和262保留)。在一些实施例中,在261与262之间获得的节距(在一些实施例中也称为距离、间隔、分辨率、特征分辨率或特征分隔距离)比使用提供图4b的抗蚀剂图案pr1、pr2和pr3的光刻可获得的节距小或精确。参照图4f,执行具有合适的蚀刻选择性的蚀刻工艺以去除心轴图案231、232和233,并且保留侧壁间隔件261至266。261形成为侧壁,并且在一些实施例中,将在后面的工艺步骤中被蚀刻掉,因此它是间隔件。总而言之,261可以被称为侧壁间隔件。侧壁间隔件261至266在方向x上具有节距p3和p4以及宽度w3。与一个心轴图案对应的两个侧壁间隔件(例如。回收,就选上海海谷电子有限公司,欢迎客户来电!四川电子芯片回收量大从优

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同样的附图标记始终表示同样的元件。可以省略重复的描述。在下文中,在三维空间中使用方向x、第二方向y和第三方向z描述根据示例实施例的集成电路的结构。方向x可以是行方向,第二方向y可以是列方向,第三方向z可以是竖直方向。方向x、第二方向y和第三方向z可以交叉,例如,可以彼此正交或垂直。图1是示出制造集成电路的方法的流程图。参照图1,在半导体基底上方的栅极层中形成多条栅极线,其中,所述多条栅极线布置在方向上并且在垂直于方向的第二方向上延伸(s100)。在栅极层上方的导电层中形成多条金属线,其中,所述多条金属线布置在方向上并且在第二方向上延伸,使得6n条金属线和4n条栅极线形成单元线路结构,其中,n是正整数,并且多个单元线路结构布置在方向上(s200)。根据示例实施例,可以通过自对准双倍图案化(sadp)或自对准四倍图案化(saqp)形成多条金属线。sadp和saqp是制造技术。此外,根据示例实施例,可以通过单图案化(即,直接图案化)、sadp或saqp形成多条栅极线。单图案化也是制造技术。下面将参照图4a至图4i描述单图案化、sadp和saqp。在一些实施例中,单元线路结构对应于未被划分为至少两个相等的子线路结构的小单元结构。在一些示例实施例中。江西废弃电子料回收网回收,就选上海海谷电子有限公司,用户的信赖之选,欢迎您的来电哦!

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字线解码器118和偏置电路606可以包括相同的电路元件(即,字线解码器118可以将信号施加至偏置电压线bvly)。在操作期间,为了访问工作mtj器件106,偏置电路606和字线解码器118可以将电压施加至偏置电压线bvly和字线wlx,以设置存储器阵列102的行内的调节mtj器件604的值。随后,位线解码器116可以施加位线电压,该位线电压允许访问多个存储单元602a,1至602c,3中的选择的存储单元,而不访问多个存储单元602a,1至602c,3中的未选择的存储单元。例如,为了将数据写入存储单元602a,1内的工作mtj器件106,可以将组偏置电压施加至字线wl1和偏置电压线bvl1。组偏置电压赋予行内的调节访问装置108低电阻。可以将第二组偏置电压施加至其它行中的偏置电压线bvl2和字线wl1,以赋予其它行内的调节访问装置108高电阻。然后将位线电压施加至位线bl1。存储单元602a,1内的调节访问装置的低电阻使得大电流(例如,大于切换电流)流过存储单元602a,1内的工作mtj器件,同时第二存储单元602a,2内的调节访问装置的高电阻使得小电流(例如,小于切换电流)流过第二存储单元602a,2内的工作mtj器件。图6b示出了对应于图6a的存储器电路600的集成电路的一些实施例的截面图608。

本实用新型属于数据录入装置技术领域,特别是涉及一种集成电路软件快速录入装置。背景技术:传统依靠计算机键盘进行信息录入模式,已经不能满足复杂生产环境下数据录入的需要。而正以追求安全化、智能化、数字化的数据录入方法成为新形势下的目标。如中国发明专利公开号“cn”名称为“一种手持式采油工数据录入仪”的**公开了一种油田采油生产中技术参数和资料的录入装置。其特征在于:该装置主要包括一个4×4的键盘,一个**处理器cpu,两个铁电存储器32k×2和一个多路选择器。该种数据录入装置结构较为简单,只能根据预设置流程和界面进行操作,操作界面死板,动态输入性较差,从而根据数据解析的设置简单。如中国发明专利公开号“cn”名称为“一种多媒体指纹考勤机”的**公开了一种多媒体指纹考勤机,包括了微处理器、指纹采集器、存储器、扬声器、tft-lcd显示屏和用于输入指令或数据的触摸屏。该种输入设备功能较为单一,输入设备操作不方便,主要为通过指纹触摸对固定指令进行操作,动态输入性较差。针对于目前工厂对产品制造良率的要求越来越高;工人人工操作机器容易疲劳且容易出错误判的问题,如何解决成为了该领域技术人员努力的方向。回收,就选上海海谷电子有限公司,有需要可以联系我司哦!

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多个mtj器件106、204和206分别包括mtj,mtj具有通过介电遂穿阻挡层112与自由层114分隔开的固定层110。在一些实施例中,固定层110可以形成为接触底电极通孔408。在其它实施例中,自由层114可以形成为接触底电极通孔408。多个mtj器件106、204和206中的一个包括被配置为存储数据状态的工作mtj器件106。多个mtj器件106、204和206中的一个或多个包括设置在调节访问装置108内的调节mtj器件204和206,调节访问装置108被配置为控制(即,调节)提供给相关的工作mtj器件106的电流。在一些实施例中,可以同时形成多个mtj器件106、204和206。例如,在一些实施例中,可以通过在介电层1002和多个底电极通孔408上方沉积磁固定膜,在磁固定膜上方形成介电阻挡膜,并且在介电阻挡膜上方形成磁自由膜来形成多个mtj器件106、204和206。可以对磁固定膜、介电阻挡层和磁自由膜实施一个或多个图案化工艺以限定多个mtj器件106、204和206。在其它实施例中,可以在不同时间形成多个mtj器件106、204和206。如图11的截面图1100所示,在多个mtj器件106、204和206上方形成多个顶电极通孔410。多个顶电极通孔410由第二ild层1102围绕。在一些实施例中。上海海谷电子有限公司回收获得众多用户的认可。电子元件物料回收中心

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本发明涉及集成电路封装技术,特别是一种集成电路基板,所述基板包括覆铜芯板,通过在覆铜芯板中设置容纳磁环的环形槽,有利于提高或扩展集成电路封装基板的电路功能,例如能够通过对沿磁环内外分布的过孔进行绕制连接以将微变压器集成在集成电路基板内。背景技术:由于新能源的大力发展,隔离应用要求越来越多和隔离电压越来越高,而半导体隔离技术取代传统光耦技术效率更高,集成度更高,支持更高传输速率,符合行业发展的需求。封装基板正在成为集成电路封装领域一个重要的和发展迅速的行业,有机基板工艺大批量使用在BGA球阵列封装,多芯片封装工艺中。现有技术中的采用微变压器方案,电源功率只有%。由于电感量不够大,信号传输不得不采用180MHz的调制信号,电路非常复杂,并且电路中的磁路不闭合,漏磁大,EMI电磁干扰空间辐射大。本发明人发现,对于采用微变压器方案的半导体隔离技术,由于微变压器方案电感量,耦合系数太低,也增加了传输电路的复杂程度,集成的电源效率差。有的电容式隔离器,用户需要外加变压器。另外,电容式隔离不能内部集成开关的电源,客户使用不方便。技术实现要素:本发明针对现有技术中存在的缺陷或不足,提供一种集成电路基板。四川电子芯片回收量大从优

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