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  • 上海平面度玻璃面型检测联系方式

    2)利用共焦探测技术对自由曲面样品进行非接触测量,并通过60bf8332-d34a-4b4a-a33c-ca保持对样品的法向跟踪和轴向焦点的峰值提取,具备较高的测量效率和纳米级测量精度。附图说明图1为本公司方法示意图;图2为本公司方法光路部分示意图;图3为本公司方法控制框图;图4为本公司方法扫描路径示意图;图5为本公司方法共焦轴向强度示意图;图6为本公司方法光束离轴示意图。图中:1-激光二极管光源、2-准直镜、3-a分光镜、4-b分光镜、5-x电机、6-x光学平板、7-y电机、8-y光学平板、9-物镜驱动器、10-物镜、11-自由曲面样品、12-二维精密位移台、13-四象限探测器、14...

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