DLC涂层（类金刚石涂层）的优点类金刚石碳（Diamond-likeCarbon）DLC泛指不定性碳的晶体结构材质，此类材质里同时存在着如钻石般（SP3）及石墨般（SP2）碳原子排列方式，杂错地结合在一起。科汇DLC涂层可达至高硬度（2000-5000Hv），低摩擦系数,抗酸抗碱的化学特征，优良的耐磨性能，与基体结合力强，具有优异的耐蚀性，能耐各种酸、碱等腐蚀，对金属、塑料、橡胶、陶瓷等均有良好的抗粘结和防咬合性能，表面粗糙度低（可达镜面级），可在各种钢铁、钛合金、硬质合金等材料上沉积，其中含金属DLC更有导电特性。科汇可做到涂层厚度：μm，涂层比较高耐热400℃。DLC涂层表面非常光滑，有着...

通常把一系列含有sp3和sp2杂化的不稳定的非晶碳膜统称为类金刚石薄膜（DLC），这类薄膜具有高的硬度，低的摩擦因数，优异的耐磨性，良好的光学透过性和生物相容性，是近年来引起重视的一种新型功能薄膜材料。膜基结合力强弱是决定涂层寿命的关键因素，也是决定所有涂层应用价值的较基础因素。DLC涂层结合强度不高，通过纳米调制等手段来提高其结合力。其中硼掺杂类金刚石涂层的研究主要集中在电化学和生物相容性方面,首先采用射频磁控溅射法在不同基底材料上制备了类金刚石涂层，分析了基底材料对涂层结构及膜基结合力的影响，通过原子力显微镜、扫描电镜、拉曼光谱结果表明：射频磁控溅射和闭合场非平衡磁控溅射制备的类金刚石涂层...

利用ECR-PECVD技术在等离子体活化后的UHMWPE表面成功制备出一种含氢DLC薄膜。UHMWPE经等离子体活化提高了其表面能和表面粗糙度，增强了与DLC间的膜基结合强度。DLC薄膜的沉积，进一步提高了UHMWPE的表面硬度、表面抗擦伤能力和耐磨损能力。⑹UHMWPE表面金属过渡层的引入，提高了DLC薄膜的沉积速率和薄膜中sp3键的含量，进一步提高了UHMWPE的耐磨损性能⑺本文采用的“低温等离子体活化/强化预处理+DLC薄膜沉积”的双重表面改性技术对提高UHMWPE的耐磨性来说将起到双重保障作用。将该技术应用于UHMWPE人工关节臼的表面改性具有潜在的重要应用价值。上海英屹涂层技术有限公...

类金刚石薄膜(DLC)是1种非晶薄膜，可分为无氢类金刚石碳膜(a-C)和氢化类金刚石碳膜(a-C:H)(图2)两类。无氢类金刚石碳膜有a-C膜(主要由sp3和sp2键碳原子相互混杂的三维网络构成)，以及四面体非晶碳(tetrahedralcarbon，简称ta-C)(主要由超过80%的sp3键碳原子为骨架构成);氢化类金刚石碳膜(a-C:H)又可分为类聚合物非晶态碳(polymer-likecarbon，简称PLC)、类金刚石碳、类石墨碳3种，其三维网络结构中同时还结合一定数量的氢.类聚合物非晶态碳是含氢金刚石薄膜的一种它是非晶体又有类似于聚合物那种通过相同简单的结构单元通过共价键重复连接而成...

研究结果表明，采用射频等离子体增强化学气相沉积方法，可以在不锈钢表面沉积一定厚度的DLC碳膜，但是由于薄膜与基材之间存在较大的内应力，薄膜牢度较小，易剥落，且不耐磨。用旋转磁控电弧离子镀技术，在不锈钢金属表面先制备了Ti/TiC、Ti/TiN等中间过渡层，然后再用射频等离子体化学气相沉积(rfPEVCD)方法在过渡层上制备了DLC薄膜，发现所制备的DLC碳膜的附着牢度、摩擦性能、硬度均有很大提高。上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点。可以解决PVD...

采用高功率脉冲磁控溅射技术制备DLC膜层,研究了偏压的变化对膜层结构及主要力学性能的影响.利用扫描电镜、原子力显微镜、拉曼光谱仪、X射线光电子能谱仪、纳米压入仪、划痕仪和磨擦磨损试验仪分析检测了DLC膜结构与性能.结果表明:偏压的提高,有利于改善DLC膜的表面光洁度及致密性,DLC膜表面均方根粗糙度Rq由不施加偏压时的9nm降低至偏压为-350V的7nm;致密性的提高使沉积速率略有下降,膜层厚度减小.偏压的增加,DLC膜内部sp3含量先增加后减小趋势,在偏压为-250V时,DLC膜中sp3含量比较高.偏压的增大,DLC膜的硬度、杨氏模量和摩擦磨损等主要力学性能均呈先增大后减小的趋势,并在偏压为...

类金刚石膜DLC因其具有抗磨性、化学惰性、沉积温度低、膜面光滑，可以将其作为一些电子产品的保护膜。如喷墨打印机墨盒加热层上、磁存储器的表面、录音机磁头极尖加一层类金刚石膜DLC保护层、不仅能有效的减少机械损伤，又不影响数据存储。类金刚石膜具有电阻率高、绝缘性强、化学惰性高和低电子亲和力等性能，且易在较大的基体上成膜。人们将类金刚石膜用作光刻电路板的掩膜，不仅可以避免操作过程中的机械损伤，还可以在去除薄膜表面的污染物允许用较激烈的机械或化学腐蚀方法，且同时不会破坏薄膜的表面，所以类金刚石膜有望代替SO2成为下一代集成电路的介质材料。类金刚石涂层的可控制备及其性能。上海模具类金刚石公司天然金刚石微...

类金刚石在DLC薄膜在汽车发动机领域的应用。为了降低发动机的燃油消耗，减轻发动机滑动部位的摩擦，（特别是活塞、活塞环与气缸之间以及凸轮与从动件之间的摩擦）非常重要。DLC薄膜材料作为一种高硬度减摩抗磨表面保护薄膜材料，具有优异的耐磨性能、低摩擦特性以及与发动机润滑油良好的协同复配特性，它在发动机滑动摩擦副上的应用是发动机节能降耗表面处理技术的一个重要研究方向。DLC薄膜在发动机上的应用效果，在技术上DLC薄膜将极低的摩擦阻力和极高的硬度完美地结合在一起，该技术已被初步应用于汽车零部件的各个运动系统中。类金刚石碳膜淀积工艺及设备研制。苏州电镀类金刚石哪家便宜DLC涂层（类金刚石涂层）的运用：精密...

类金刚石碳膜（diamond-likecarbonfilms，简称DLC膜），是含有类似金刚石结构的非晶碳膜，也是我们在这里真正需要介绍的一种。DLC膜的基本成分是碳，由于其碳的来源和制备方法的差异，DLC膜可分为含氢和不含氢两大类。DLC膜是一种亚稳态长程无序的非晶材料，碳原子间的键合方式是共价键，主要包含sp2和sp3两种杂化键，在含氢DLC膜中还存在一定数量的C-H键。我们从1996年起开始磁过滤真空弧及沉积DLC膜研究，正在完善工业化技术。如等离子体源沉积法、离子束源沉积法、孪生中频磁控溅射法、真空阴极电弧沉积法和脉冲高压放点等。新型的DLC(类金刚石碳)涂层材料——金刚烷化合物。湖州...

类金刚石在DLC薄膜在汽车发动机领域的应用。为了降低发动机的燃油消耗，减轻发动机滑动部位的摩擦，（特别是活塞、活塞环与气缸之间以及凸轮与从动件之间的摩擦）非常重要。DLC薄膜材料作为一种高硬度减摩抗磨表面保护薄膜材料，具有优异的耐磨性能、低摩擦特性以及与发动机润滑油良好的协同复配特性，它在发动机滑动摩擦副上的应用是发动机节能降耗表面处理技术的一个重要研究方向。DLC薄膜在发动机上的应用效果，在技术上DLC薄膜将极低的摩擦阻力和极高的硬度完美地结合在一起，该技术已被初步应用于汽车零部件的各个运动系统中。类金刚石薄膜资料介绍。湖州拉刀类金刚石价格自上世纪80年代以来，类金刚石膜作为新型的膜材料一直...

通常把一系列含有sp3和sp2杂化的不稳定的非晶碳膜统称为类金刚石薄膜（DLC），这类薄膜具有高的硬度，低的摩擦因数，优异的耐磨性，良好的光学透过性和生物相容性，是近年来引起重视的一种新型功能薄膜材料。膜基结合力强弱是决定涂层寿命的关键因素，也是决定所有涂层应用价值的较基础因素。DLC涂层结合强度不高，通过纳米调制等手段来提高其结合力。其中硼掺杂类金刚石涂层的研究主要集中在电化学和生物相容性方面,首先采用射频磁控溅射法在不同基底材料上制备了类金刚石涂层，分析了基底材料对涂层结构及膜基结合力的影响，通过原子力显微镜、扫描电镜、拉曼光谱结果表明：射频磁控溅射和闭合场非平衡磁控溅射制备的类金刚石涂层...

类金刚石碳膜因同时具有高硬度和低摩擦系数而引起关注,然而,它与工业中常用的铁基材料存在"触媒效应",即,镀的刀具在加工黑色金属的过程中高硬度砂键会转化成软的护键,使耐磨性急剧下降,因此限制了它的应用范围年限,柳襄怀等采用离子束辅助沉积功技术制备出了用于满足电磁功能要求的"石墨化"的膜年,提出存在高硬度"碳结构"，其后,英国及公司采用全封闭非平衡磁控溅射制备出了高硬度碳膜一镀层阅研究表明一以砂结构为主,在与钢铁材料摩擦时未出现"触媒效应"且硬度适中、摩擦系数小、比磨损率较低一个数量级,具有极其优越的摩擦学性能碳膜的结构和性能很大程度上与其制备工艺有关方法便于控制辅助轰击参数以改变镀层的结构,磁控...

类金刚石薄膜(DLC)是1种非晶薄膜，可分为无氢类金刚石碳膜(a-C)和氢化类金刚石碳膜(a-C:H)(图2)两类。无氢类金刚石碳膜有a-C膜(主要由sp3和sp2键碳原子相互混杂的三维网络构成)，以及四面体非晶碳(tetrahedralcarbon，简称ta-C)(主要由超过80%的sp3键碳原子为骨架构成);氢化类金刚石碳膜(a-C:H)又可分为类聚合物非晶态碳(polymer-likecarbon，简称PLC)、类金刚石碳、类石墨碳3种，其三维网络结构中同时还结合一定数量的氢.类聚合物非晶态碳是含氢金刚石薄膜的一种它是非晶体又有类似于聚合物那种通过相同简单的结构单元通过共价键重复连接而成...

类金刚石膜是一类性质类似于金刚石的具有多项质量性能的新型膜材料，它的面世是人类膜材料科学的一大进步。由于类金刚石膜的高耐磨性、低摩擦系数、热稳定性、红外透光性、高电阻、低介电常数及生物相容性，适合于多个领域的应用，同时类金刚石膜的制备方法简单，使其引起人们的关注。我们来谈谈类金刚石膜的发现、结构和制备方法，介绍一下多层类金刚石膜在机械、光学、医疗、电子、航天等领域的应用，总结一下它的研究现状和发展前景。随着人类对金刚石的研究的深入和其应用的，人类对其的需求越来越大，但是，由于制备金刚石的工业化工艺条件比较难以实现，因此人们渴望能有一种可以替代金刚石的新材料。类金刚石膜（diamond-like...

随着科学技术的飞速发展,用于机械加工、矿山采掘的硬质合金刀具在不断的更新,刀具涂层技术也在日趋多样化和复杂化,对生产工艺的要求也随之提高.文中介绍了硬质合金刀具涂层的2种主要制备方法即化学气相沉积法(CVD)和物理相沉积法(PVD),简述了刀具涂层即单组分涂层、多组分涂层、多层涂层和梯度涂层的发展,概括了几种新型涂层即金刚石涂层、类金刚石涂层、立方氮化硼涂层和氮化碳涂层,对未来硬质合金刀具涂层的发展方向进行了展望.上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优...

类金刚石在生物医学特性及其应用。由于DLC薄膜在化学成分上（碳、氢元素）能够满足生物相容性的要求并具有高硬度、低摩擦系数、化学惰性等特性，同时具备优异的生物相容性和化学稳定性，越来越多的研究者将目光投向了DLC薄膜在生物医学领域的应用。例如人工关节表面沉积的DLC薄膜，可以增强人工关节的耐磨、耐蚀性能、减少磨屑、增加生物相容性，提高使用性能。在作为人工心脏瓣膜的钛合金或不锈钢表面沉积一层DLC薄膜，不仅能满足生物相容性的要求，而且能够提高该部件的机械和耐腐蚀性能，提高这些部件的使用性能。此外，DLC薄膜对蛋白质的吸附率高，对血小板的吸附率低，可以在不影响主体特征的前提下，从多种途径促进材料表面...

近几年来,在经济全球化背景下,我国的制造业获得了空前发展的机遇,而现代切削刀具成了提升制造业技术水平的关键因素之一,不断提高的切削加工要求和被加工材料的能级以及减少切削加工对环境污染等有力地推动了用于现代切削刀具涂层技术的发展.膜系材料多元合金化,涂层工艺组合的多样化中出现的TiAlN、TiAlCN、CrSiN等多元复合涂层和多层涂使刀具获得了高耐磨、低摩擦、热稳定性好和抗氧化能力强等良好的综合性能,有效提升了现代切削刀具的性能;纳米组分和纳米薄膜涂层的显微结构使得难加工材料的切削得到了新的解决办法。类金刚石涂层DLC纳米涂层加工。安徽不锈钢类金刚石多少钱类金刚石（英文：Diamond-lik...

类金刚石涂层是一种在微观结构上含有金刚石成分的涂层。构成类金刚石的元素为碳。碳原子和碳原子之间的不同结合方式，使其终产生的物质也不同，如在金刚石中碳原子与碳原子之间是以sp3键的形式结合的，在石墨中碳原子与碳原子之间是以sp2键的形式结合的，而在类金刚石中碳原子与碳原子之间则是以sp3和sp2键的形式结合的。类金刚石涂层由于含有金刚石成分，具有硬度高（能达到-60GPa或Hv6000以上）；摩擦系数低（)；膜层致密性极好；化学稳定性好以及光学性能好等很多优良的性能。因此，类金刚石涂层作为一种理想的涂层材料广泛应用于硬质合金刀具，成为现代机械加工业的新生力量。类金刚石薄膜的问世始于20世纪70年...

类金刚石在电学性能及应用。DLC薄膜具有优异的电学性能，一般来说，含氢DLC薄膜电阻率比不含氢的DLC薄膜的高，可能是由于氢稳定了薄膜中sp3相的缘故。由于DLC中的sp2相和薄膜的电阻率有直接的关系，因此沉积工艺和离子束的能量都对DLC薄膜层电阻率有着很大的影响。由于DLC薄膜的良好导热性能，它可以作为芯片中铜片散热器的绝缘电阻，能防止通常功率下因热膨胀系数不匹配而引起的铜片抓痕。此外，DLC在腐蚀介质中表现出极高的化学惰性，可以保护基底免遭外界腐蚀介质的溶蚀。纯的DLC薄膜表现出极好的耐蚀性，可以抵御各类酸碱甚至王水的侵蚀。另外，DLC薄膜具有较低的电子亲和势，是一种优异的冷阴极场发射材料...

金刚石铰刀的磨损原理比较复杂，主要有宏观磨损和微观磨损，前者主要是机械磨损，后者主要是热化学磨损。金刚石铰刀常见的磨损形式有前刀面磨损、后刀面磨损和刀刃破裂。单晶金刚石铰刀在刃磨时，既要有磨耗，也要有刃磨出符合要求的刀具，但是如果产生不必要的磨耗，则可损伤已被刃磨好的前后刀面。当刃口应力大于金刚石铰刀的局部承受能力时，就会产生刃口崩裂(即崩裂)，这通常是由于金刚石晶体沿晶表面的微观解理破坏所致。金刚石铰刀的切削刃钝圆半径在超精密加工中相对较小，其自身又属于硬脆材料，同时由于其切面各向异性容易发生解理，常因振动和砂轮砂粒对刃口的冲击而伴随崩刃的现象。什么是类金刚石涂层？嘉定区纳米类金刚石哪个好介...

利用射频等离子体增强化学气相沉积技术以CH4、H2为气源，Ar为稀释气体，在不锈钢、玻璃等基底上制备大面积类金刚石碳膜(DLC)。并对所制备的DLC碳膜采用拉曼光谱(Raman)、X射线光电子能谱(XPS)、傅立叶红外光谱(FT-IR)、扫描电子显微镜(SEM)等研究手段对样品的形貌和结构进行表征；利用纳米显微硬度计和摩擦磨损试验机对DLC碳膜的机械和摩擦学特性进行了研究，得到了摩擦性能随沉积参数和实验条件的变化规律，对DLC碳膜的自润滑机制和磨损机理进行了探索。上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结...

类金刚石膜DLC具有良好的生物相容性，许多实验都发现它对蛋白质的吸附率高，对血小板的吸附率低，可以在不影响主体特征前提下，从多种途径促进材料表面生成具有活性的功能簇，从而减少了血液凝固，使生物组织和植入的人工材料和平相处，减轻了患者的痛苦。DLC作为固体润滑材料，减摩性和耐磨性都很好，这样就降低了生物医学材料的磨损，延长材料使用寿命。同时，DLC作为一种碳膜，是一种碳素生物医学材料，在生理环境中呈化学惰性，不会引起生物化学反应。研究表明，金属生物医学材料磨损所产生的碎屑可以引起严重的组织反应，从而导致植入物周围的骨损伤,引起装置松动。DLC具有良好的耐磨性和生物化学惰性，研究表明镀有DLC髋关...

石墨烯、碳纳米管及金刚石等新型碳材料，在材料科学、现代工业和**装备应用迅猛发展的扮演着越来越重要的角色。类金刚石膜是新型碳材料的典型，具有宽带透过、高硬度、高稳定性、高导热性、耐腐蚀、低摩擦等诸多类似天然金刚石的优异特点，因此，在光学、力学、热学、摩擦学及多门科学交叉领域受到各国研究者的青睐。德国已将类金刚石膜技术列入“影响未来世界的100种变化”的关键技术之一，可镀制在任何金属、陶瓷、塑料等基底上，改善材料表面的性能。在制备新型碳材料，尤其是类金刚石膜方面，传统方法难以突破自身某些缺陷。脉冲激光沉积(pulsedlaserdeposition，PLD)技术是一种新方法，它具有离子动能高、室...

超高研磨性能的金刚石微粉研究所一直在大力研究和开发人造金刚石微粉研磨膏的应用。据他们认为，金刚石研磨膏应用于抛光高精度零件比用非金刚石磨料制成的研磨膏的生产效率提高1～2倍，而且加工的光洁度可提高一个等级。金刚石研磨膏的应用十分多,常用于一些高精度高表面光洁度元器件的精磨和抛光。例如用于金相试样、拉丝模、钟表和其它工业用宝石轴承、压模和冲模、量规和块规、航空器高精度液压传动零件和内燃机零件、精密仪表元件、雷达设备、各种晶体管和陀螺仪零件等的精磨或抛光。此外还用于钻石、硬质合金、玻璃、石英、陶瓷、红宝石、蓝宝石、锗、硅和其它硬脆材料元件的研磨，以及铸铁、钢、有色金属和合金零件的抛光；钛、钽、锆和...

类金刚石的光学性能及应用。DLC薄膜具有良好的光学透明度，宽的光学带隙，在可见光区通常吸收率高，不透明，但是在红外区和微波频段则具有很高的透过率和较低的吸收率。由于DLC薄膜具有光谱宽透过率高、硬度高、摩擦系数小、化学稳定性好等优点，可以作为多种光学材料如硅、锗、玻璃、硫化锌等的增透/保护膜，起到抗磨损、耐腐蚀、抗潮解和抗氧化的作用。国外已相继将其应用在太阳能硅电池、高功率二氧化碳激光器窗口、潜望镜红外窗口、陆瞄准具红外窗口、飞机前视红外窗口、导弹头罩窗口和宇航探测器等方面。类金刚石在机械性能与应用。DLC薄膜具有很高的硬度和弹性模量，不同的沉积方法制备的DLC薄膜硬度差异很大，尤其是用激光溅...

随着硬质合金刀具市场的不断扩大，刀具涂层技术不断进步，类金刚石薄膜制备方法越来越多，包括物相沉积技术、化学气相沉积技术以及新兴的液相电沉积技术等。同时，我们也看到了类金刚石薄膜存在着膜基结合力差、热稳定性差等缺陷。经过对类金刚石涂层不断地研究，发现可以通过选择合适的工艺参数、改善基体状态、添加过渡层来增加膜基结合力。并且近年来的研究表明在含氢类金刚石涂层制备中加入Si等杂质元素、采用液相法制作类金刚石涂层热稳定性极高，可以有效地解决热稳定性差的问题。总之，硬质合金刀具表面类金刚石涂层技术日趋成熟，随着研究的不断深入，未来可以制备出更好的类金刚石薄膜。类金刚石膜是一种无机膜，其结构、物理化学性质...

类金刚石薄膜的制备方法根据制备DLC薄膜碳源的不同，可将DLC薄膜的制备方法分为固体靶材为碳源的物相沉积法和含碳气体为碳源的化学气相沉积法。其中DLC薄膜的制备方法和性能也随着相应沉积技术的发展获得改进和提升。传统的气相沉积技术制备薄膜的能量来自于热源。为制备性能更为优异，功能应用多样化的新型特殊薄膜，传统的镀膜技术无法满足实际的需求。为使薄膜达到更优异的性能，逐渐地把各种气体放电技术引入到薄膜材料制备的过程中，进而发展形成了离子镀膜技术。离子镀膜技术能很大程度上增加膜层粒子的离化率，提高膜层粒子的整体能量，终高效地进行薄膜的制备。相应的，对于制备DLC薄膜的两种主要方法也进行了一定程度的补充...

近几年来,在经济全球化背景下,我国的制造业获得了空前发展的机遇,而现代切削刀具成了提升制造业技术水平的关键因素之一,不断提高的切削加工要求和被加工材料的能级以及减少切削加工对环境污染等有力地推动了用于现代切削刀具涂层技术的发展.膜系材料多元合金化,涂层工艺组合的多样化中出现的TiAlN、TiAlCN、CrSiN等多元复合涂层和多层涂使刀具获得了高耐磨、低摩擦、热稳定性好和抗氧化能力强等良好的综合性能,有效提升了现代切削刀具的性能;纳米组分和纳米薄膜涂层的显微结构使得难加工材料的切削得到了新的解决办法。无氢类金刚石薄膜是什么？温州塑胶模类金刚石哪家便宜涂层刀具结合了基体度高韧性以及涂层高硬度高耐...

介绍了采用物理相沉积(PVD)技术制备类金刚石涂层的方法,进而论述了涂层的摩擦磨损和结合力等性能的研究现状和发展前景.分析并综述了类金刚石涂层的技术发展,以及制备类金刚石薄膜的方法和影响其性能的多种要素.表面涂有类金刚石薄膜的工件具有较高的硬度、良好的热传导率、极低的摩擦系数、优异的电绝缘性能等.类金刚石薄膜(DLCFilms)是近年来兴起的一种以sp3和sp2键的形式结合生成的亚稳态材料,因其优异的减摩和抗磨性能,在摩擦学领域获得了应用,是一种与金刚石涂层性能相似的新型薄膜材料.DLC涂层的性能研究大多集中在它的摩擦学特性和结合力性能,并且作为的涂层材料已被应用于汽车、模具、刀具等领域.上海...

分别以氩气-甲烷、氩气-乙炔为辅助气体,高纯石墨为靶材,利用中频脉冲非平衡磁控溅射技术制备了类金刚石薄膜.采用Raman光谱、X射线光电子能谱、纳米压痕测试仪、表面形貌进行了分析.Raman光谱和X射线光电子能谱测试结果表明,以氩气-甲烷为辅助气体制备的类金刚石薄膜中sp3杂化键的含量比以氩气-乙炔为辅助气体制备的类金刚石薄膜的高.纳米压痕测试结果表明,以氩气-甲烷为辅助气体制备的类金刚石薄膜的纳米硬度比以氩气-乙炔为辅助气体的高.原子力显微镜测试结果表明,以氩气-甲烷为辅助气体制备的类金刚石薄膜的RMS表面粗糙度比以氩气-乙炔为辅助气体的低.以上结果说明辅助气体组成对类金刚石薄膜的键结构、机...