真空烤盘炉是与MOCVD设备配套使用的炉体，炉内抽真空，被处理工件放置在炉膛内，采用清洗气体加热反应方式进行干式清洗（清洗气体：N2，H2）。主要用于有效清洗除MOCVD承受器（SiC涂层石墨盘或石英盘）上的氮化镓和氮化铝等，可达到有效清洁处理，提高制品质量的目的。二、设计特点1、后门设计热风电机2、降温时风机开启，同时两端降温封头开启，炉膛内产生如图所示的气体流向3、通过气体介质将隔热层内与水冷壁之间进行热交换，达到快速降温的目的三、技术指标1、使用温度：1450℃；比较高温度：1500℃；2、绝热材料：石墨纤维毯、石墨纸；4、加热元件：石墨加热棒；5、冷却方式：气冷+循环风冷降温；6、控温稳定度：2℃，具有PID参数自整定功能；7、炉膛温度均匀度：5℃（恒温1500℃）；8、气氛:可向炉膛内通入干燥、洁净、无油的高纯度氮气,纯度≥99.999%；9、极限真空:10-3torr级；10、抽气速率：空载下，30min达到10-2torr11、升温功率：170kW；12、升温速率：15℃/min（空载）；13、降温速率：1450℃至80℃,240分钟14、腔体尺寸：1000*1000*1000mm（宽*深*高）工业烤箱常见的用途有哪些？合肥真萍告诉您。厦门工业烤箱厂家
用途介绍：无氧干燥箱应用于航空、航天、石油、化工、、船舶、电子、通讯等科研及生产单位，主要作BPO胶/PI胶/BCB胶固化，模压固烤、IC（晶圆、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指纹识别）、FPD、高精密电子元件、电子陶瓷材料无尘烘干，电工产品、材料、零备件等的高温洁净和无氧环境中干燥和老化试验。1、技术指标与基本配置：1.1使用温度：RT～260℃，极限温度：300℃；1.2炉膛腔数:2个,上下布置；1.3炉膛材料：SUS304镜面不锈钢；加热元件：不锈钢加热器；热偶：K分度1.4温度和氧含量记录:无纸记录仪；2、氧含量（配氧分析仪）：2.1高温状态氧含量：≤10ppm+气源氧含量;低温状态氧含量：≤20ppm+气源氧含量2.2控温稳定度：1℃；2.3温度均匀度：2%℃（260℃平台）；工业烤箱批发合肥真萍告诉您工业烤箱的应用范围。
超高真空烘箱一、本产品广泛应用于航空、航天、电子、通讯等科研及生产单位。确定仪器仪表、电工产品、材料、零部件、设备等在低气压、高温单项或同时作用下的环境适应性与可靠性试验.二、主要技术指标：1、工作室温度范围：常温～+300℃用户使用温度260℃2、温度波动度：1.0℃（空载）；3、温度偏差：常压温度试验：常温～200℃时2℃200～300℃时5.0℃低气压高温综合试验:≤100℃时2.0℃，100℃～200℃时5.0℃200℃～300℃时7.0℃4、升降温速率：升温时间：①常压时：90min（常温～+260℃）②低气压0.0001pa时：180min（常温～+260℃）降温时间：3℃～10℃/min（260℃～120℃）,1℃～5℃/min（120℃～常温℃）降温方式：水冷降温5、试验箱承压方式：采用内承压方式6、压力范围：常压～0.0001Pa
HMDS预处理系统的必要性：在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。  增黏剂HMDS（六甲基二硅氮烷）可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后，经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。工业烤箱的特点是什么？合肥真萍告诉您。
通过数显仪表与温感器的连接来控制温度,采用热风循环送风方式，热风循环系统分为水平式和垂直式。均经精确计算，风源是由送风马达运转带动风轮经由电热器，将热风送至风道后进入烘箱工作室，且将使用后的空气吸入风道成为风源再度循环加热运用，如此可有效提高温度均匀性。如箱门使用中被开关，可借此送风循环系统迅速恢复操作状态温度值。工业烤箱的热风循环系统由送风马达、风轮和电热器组成，送风马达带动风轮送出冷风，冷风经过电热设备加热携带热能后经风道进入工业烤箱的烘箱工作室。合肥真萍告诉您工业烤箱如何去使用呢？不锈钢工业烤箱批发
工业烤箱怎样挑选比较好?厦门工业烤箱厂家
工业烤箱的热风循环系统由送风马达、风轮和电热器组成，送风马达带动风轮送出冷风，冷风经过电热设备加热携带热能后经风道进入工业烤箱的烘箱工作室。工业烤箱的热风循环系统有利于提高空气温度的均匀性，在工业烤箱开关箱门运送物料的过程中，温度值会受到影响发生变动，热风循环系统的均匀性则有利于在比较大快速度内恢复工作状态的温度值。工业烤箱的热风循环系统由送风马达、风轮和电热器组成，送风马达带动风轮送出冷风，冷风经过电热设备加热携带热能后经风道进入工业烤箱的烘箱工作室。厦门工业烤箱厂家
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