一种四氟化碳气体浓度检测校正方法，包括：
通过双光路检测系统利用双波长红外差分检测法测量出不同温度下的四氟化碳气体浓度值；
将测量出的所述四氟化碳气体浓度值和对应的温度值输入至RBF神经网络进行训练；
将对测试样本测量所得的四氟化碳气体浓度值输入至训练好的所述RBF神经网络进行测试并开展反演计算，得到校正后的四氟化碳气体实际浓度值。
推荐地，在本发明实施例提供的上述四氟化碳气体浓度检测校正方法中，通过双光路检测系统利用双波长红外差分检测法测量出四氟化碳气体浓度值，包括：所述红外光源发出的红外光束经准直后进入内置有四氟化碳气体的所述气体采样室；被四氟化碳气体吸收特定波长的红外光束作为测量光；波长不受四氟化碳气体影响的红外光束作为参考光；
在所述测量光经所述滤光片透射后，检测所述测量光的光强；在所述参考光经所述第二滤光片透射后，检测所述参考光的光强；
用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺，也用作激光气体及制冷剂。扬州新能源四氟化碳价格走势
四氟甲烷（R-14）是目前微电子工业中用量比较大的等离子蚀刻气体，其高纯气及四氟甲烷高纯气配高纯氧气的混合气，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷剂、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。四氟化碳的包装可重复使用高压钢瓶包装（需回收包装钢瓶）。四氟化碳有时会用作低温冷却剂。它可用于电路板的制造，以及制造绝缘物质和半导体。它是用作气体蚀刻剂及等离子体蚀刻版。华东直销四氟化碳厂家哪家好四氟化碳可用于金属冶炼。
四氟化碳的合成工艺有烷烃直接氟化法、氟氯甲烷氟化法、氢氟甲烷氟化法和氟碳直接合成法四种，目前工业上四氟化碳的合成主要采用氟碳直接合成法。这种生产工艺的优点是原料易得、反应可控、产物纯度高。该方法已实现工业化生产，产品纯度高达99.99%以上，可满足电子工业的需求，已成为工业上制备四氟化碳的主要方法。就目前而言，四氟化碳以其相对低廉的价格将会长期占据着蚀刻气体的市场，因此具有广的发展潜力。未来，四氟化碳的需求将会明显增加。
四氟甲烷(CF4)是目前微电子工业中用量比较大的等离子蚀刻气体，广用于硅、二氧化硅、氮化硅和磷硅玻璃等材料的蚀刻。同时，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、低温制冷、气体绝缘、泄漏检测剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂、润滑剂及制动液等方面也有大量应用。由于它的化学稳定性极强，CF4还可用于金属冶炼和塑料等行业。就目前而言，CF4以其相对低廉的价格将会长期占据着蚀刻气体的市场，因此具有广的发展潜力。四氟化碳的化学性质稳定，在通常情况下，它与硅直接接触，也不会发生化学反应。
高纯四氟化碳和六氟化硫产品满足重大专项/课题任务书研究内容和考核指标规定的技术要求。项目的验收完成，标志着黎明院开发的高纯度含氟电子气体四氟化碳和六氟化硫产品，能够满足极大规模集成电路行业所需的高纯度气体需求，也标志着极大规模集成电路行业用高纯度四氟化碳和六氟化硫电子气体实现了国产化。高纯度四氟化碳和六氟化硫电子气体是极大规模集成电路行业必须的清洗、蚀刻气体。随着极大规模集成电路技术的提升，芯片制程向14纳米甚至7纳米的迈进，其对电子气体的纯度要求越来越高。为此，黎明院借助科技重大专项平台，突破产物合成、精制提纯、杂物分析、洁净充装等关键技术，攻克了高纯度四氟化碳和六氟化硫制备过程中微量杂质的纯化、分析等技术难题，制备出5.8N四氟化碳和5.5N六氟化硫，部分杂质含量在0.1ppm以内。在研发过程中，并建成了标准化洁净间。
性状：无色无味气体 2.熔点（℃）：-183.6 3.沸点（℃）：-127.8。上海市新能源四氟化碳
或四氯化碳与氟化氢反应，都能生成四氟化碳。扬州新能源四氟化碳价格走势
四氟化碳是目前微电子工业中用量比较大的等离子体蚀刻气体，广用于硅、氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、低温制冷、气体绝缘、泄漏检测剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂、润滑剂及制动液等方面也有大量应用。由于化学稳定性极强，四氟化碳还可用于金属冶炼和塑料行业等。当今超大规模集成电路所用电予气体的特点和发展趋势是超纯、超净、多品种、多规格，各国为推动本国微电子工业发展，越来越重视发展特种电子气体的生产技术。就目前而言，四氟化碳以其相对低廉的价格长期占据着蚀刻气体市场，因此具有广阔的发展潜力。扬州新能源四氟化碳价格走势