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滤波和仪器校正后得到两路相位差为90°的正弦信号与栅距对应，结合鉴相电路和细分电路可以测量相对位移，特点是在各种工作环境下保持非常好的工作特性。以SONYDE系列千分表为例，可以做到直接测量量程为30mm，示值误差1μm以内，分辨力，重复性为μm。2、仪器校准注意事项根据容栅、光栅、磁栅几种测量原理，都有一个电子细分过程，所以仪器校准时要非常关注电子细分误差。电子细分误差的校准需要在若干个细分周期内抽取合适的点来校准，在正常的校准点外(JJG34-2008)建议适当增加细分点。现在的细分计数原理有很多采用的是CPLD或FPGA作为器件，其特点是，并行处理模式、速度快，结合精码和粗码分离的算法，粗码是移向和比较器得出结果，而精码是通过软件算法得出结果，两者相加为表的*示值。精码的准确度取决于单周期信号的质量，主要是相位、幅值、直流偏置。粗码的准确度取决于栅距刻线误差及机械误差。所有仪器校准细分点可以和整数点结合，贯穿全程，以0~25mm为例，如：，，，，，。找到*误差和*小误差对应的校准点，进行加密点校准。加密点选取以误差的*值和*小值对应校准的前后1/10栅距为单位，共20点为宜。如果取粗码的整数倍的误差*值和*小值来选取加密校准点。
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